半導体分野向け比抵抗計『UPW UniCondセンサ』

PR±0.5％以下の測定精度で、水質管理の信頼性を向上。評価結果などの紹介…

『UPW UniCondセンサ』は、大手半導体メーカーとの共同開発により 堅牢な構造と高度な温度補正機能を備えた比抵抗計です。 環境温度やプロセス温度の変化による測定値の変化や 信号ノイズを防ぎ、高い温度補償比抵抗精度を実現。 半導体分野における水質の正確な把握と歩留まりの向上に貢献します。 【特長】 ■±0.5％以下の測定精度を実現 ■ノイズと水質変化による干渉を区別し、高...

メーカー・取り扱い企業： メトラー・トレド株式会社

高耐熱ホース『エアロクイップ(AQP)シリーズ』

PR最高使用温度＋150℃！多種類の液体・気体に1本で対応する高耐久ハイス…

イートン社製ホース『エアロクイップ(AQP)シリーズ』は、耐熱性・耐化学薬品性・耐久性に優れ、1本で石油系作動油をはじめ、ガソリン・水・エアーなど多種類の液体・気体に対応可能。 100万回以上のインパルス試験に合格し、内部流体・外部雰囲気温度共に最高使用温度は150℃で、昇温化傾向にある油圧機器や、周辺温度が高い箇所の配管などに適しています。 AQPホースは酸化やオゾンの影響ならびに空中お...

メーカー・取り扱い企業： ドゥ・ヤマモト株式会社 本社

低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800

レーザーの温度制御に最適！

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力700～900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

[チラー]モジュール式チラー　M-Pakシリーズ

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

ATSジャパン株式会社より、マルチチャンネルチラー「ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング：SUS316L(電解研磨処理)　　内面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』

高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…

ープットを実現。 特にMarathon(TM)グリッドは、従来の方式に比べ、長期に渡り 良好な均一性を得ることが出来ます。 【仕様】 ■イオンビームシステム ■プロセス温度：-40℃～+60℃ ■傾斜角：+90度～-80度 ■ロードロック　又は、CtoC ■ウエハサイズ：100mm,150mm,200mm ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

・チャンネル：1～8 ・RF周波数：1～50MHz ・インピーダンス：共振周波数で10kΩ以上 ・DCR：各チャンネルで25℃の場合に2MHzで100mΩ未満、13MHzより高い周波数で15mΩ未満 ・L：各チャンネル25℃で5μH～300μH(公称値) ・C：各チャンネル10～25pF(公称値) ・チャンネル間の絶...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

連続式熱処理炉

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処…

【仕様】 ■常用温度：100～200℃（300℃MAX） ■昇温時間：15min（RT～300℃） ■温度分布：±2℃（温度安定時） ■熱電対：Kタイプ ■温度制御：温度調節計（PID制御） ■加熱方式：熱風循環方式、パイプヒ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

アールエムテック　サービス案内

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

【取扱い製品紹介】 ●温度信頼性試験装置 ハイタオ製サーマルショック装置は温度信頼性試験環境として －55℃→＋125℃まで10秒で昇温 ＋125℃→－55℃まで16秒で降温 急速温度変化環境を提供します。 ●サップコールド 弊社相模原サービスセンターにて全数出荷前検査を行い日本、台湾、中国、東南...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

○静電容量： 500〜4000pF ○静電容量誤差： ±20%以内（高精度モデル有） ○許容温度範囲： -30℃〜+50℃ ○エネルギー散逸： 最大0.5% (@1kHz) ○絶縁試験： 下記DCテスト電圧にて10秒間 ○絶縁抵抗： 20,000MΩ(最小値：@100VDC) ○温度係数： N...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

プラズマCVD装置『210Dモデル』

φ200mmウェーハまで対応！成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…

【仕様】 ■ICP-CVD成膜装置　及び　ICP-RIEドライエッチャー ■-20℃～150℃(オプションにより変更可能) ■クーポンタイプから最大φ200mmフルウェーハまで対応 ■2”ウェハ7枚、3”ウェハ3枚等のバッチ処理も可能 ■ガス配管：標準8ライン(オプションにより最大...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACCUBATH

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACC…

信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用　 石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM（オプション）によるシール部の冷却機構により長寿命化、 　30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ（ナイトライドエッチ）のもっとも有効で、信頼性と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

インライン　ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命１０年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力１５０℃×０．４ＭＰａ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

[チラー]リークレス高温対応モデル　HTXシリーズ

最高180℃まで設定可能！リークレスの高温対応モデル

ATSジャパン株式会社より、高温対応モデル「HTXシリーズ」のご案内です。 ■安全装置の強化により、最高180℃まで安全に使用可能！ ■高い冷却能力でパワフル運転（22kW@180℃） ■高速昇温で省エネを実現 ■高速降温でメンテナンスにも便利 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

中大物向け1200×1100×650ｍｍ5軸制御型立型MCを保有

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプ…

　測定精度：0.35＋Ｌ/1000（μｍ） 　　　　　　　　(プロ―ピング誤差 0.45μｍ以下) 　　　最小表示量：0.00001ｍｍ 　　　最小測定圧：0.03Ｎ 　　　　　恒温室：2２℃±0.5℃ 　・Bｒｉｇｈｔ910【三次元測定機】　1台 　　　測定サイズ：900×1000×600ｍｍ　メーカー：ミツトヨ 　・ＱＭ－Ｍｅａｓｕｒｅ353【三次元測定機】　1台 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

[チラー]スループット追求モデル　SXシリーズ

高い冷却能力、高速加熱・冷却を追求した温度管理システム

したシングルチャンネルチラー「SXシリーズ」のご案内です。 ■高い冷却能力 ■高速加熱・冷却によりスループットの向上 ■ジャグの改良により効率化、省エネを実現！ ■高温冷却水にも対応（+30℃） ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカ...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社