【技術資料】マイカシート（雲母）の素材特性、精密加工ノウハウ

PRリチウムイオン電池の類焼防止としても期待される、高い耐熱性と難燃性、腐…

層間剝離やバリ、粉塵発生といった課題を伴うのが「マイカシート」の加工の難しさ。 こうした課題の対策には「金型」と「マイカシートの取扱い方法」のノウハウが重要になります。 当社 株式会社山田製作所では、マイカシートの加工実績を長年積み重ね、豊富なノウハウを有しています。 当資料【技術資料：マイカシート（雲母）素材特性&加工ノウハウ】では、こうした知見と経験を当社の視点で分かりやすくおまとめ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山田製作所

JBCソルダリング製品の30日間無料トライアル＜デモ機貸出＞

PR高性能はんだ付け機器を無料で試せる。こて先カートリッジは500種類以上…

現在、当社の最新製品から定番コンパクトステーションまで 幅広い製品のデモ機をお試しいただける無料トライアルを実施中です。 こて先カートリッジは500種類以上からお選びいただけます。 JBCの技術を駆使したこて先は、はんだ接合時の温度低下約30℃を実現。 部品の損傷リスクを最小限に抑えつつ、はんだ付けや はんだ除去の品質の向上や作業時間の短縮に貢献します。 ヨーロッパ、アメリカ、...

メーカー・取り扱い企業： JBC Soldering Japan株式会社

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【特長】 ■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い） ■反りウェハの搬送も可能！ ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。 トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！装置幅300mm自動レジスト塗布装置（コーター）

装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…

装置幅が300mmのミニマルな装置を作製できます！ 幅は300mmですが、その分高さと奥行きはそれなりの長さになります。 300mm幅での装置作製実績があるので、後はメンテナンス性やトラブル時の部品交換などのランニングコストを考慮して装置の大きさを決定していただけます。 設置スペースの制限や建物の出入り口の大きさの制限、エレベーターなどの設置位置までの搬送ツールの大きさの制限などに対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、 まずはお気軽にご相談ください。 2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ナノスピードディップコーター(カタログ配信中)

産業界に革新をもたらす超低速ディップコーター。これまでにない次元へと進…

++++++++++++++++++++ 　現在、HPで動画紹介中です。 ++++++++++++++++++++ 1.超低速コーティング技術: 弊社のディップコーターは、驚異的な低速で作動し、素材に均等で一層なコーティングを施します。これにより、製品の品質と仕上がりが向上します。 2.多機能性: さまざまな素材に対応する多機能性が魅力。ウエハ、金属、プラスチック、ガラスなど、幅広い材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

研究開発用スリットダイコーター『卓ダイ』

操作が簡単！薄膜から厚膜まで、低粘度から高粘度まで1台で塗工可能

『卓ダイ』は、一人で全ての塗工操作ができるスリットダイコーターです。 スリットはシムを使用しない固定タイプで再現性があり、ダイは 3ピース構成、取外しが容易であり、液替え時間は約20分。 液供給部が塗工幅と同一な為、平行流状態で液吐出が可能です。 この他に、A4サイズの基材に瞬時に再現性よくスプレー塗工する装置 「簡易スプレーコーター」も取り扱っています。 【特長】 ■操...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

塗布幅可変スリットコーター

塗布幅をデジタルで可変できるスリットコーター

タッチパネルでの設定変更のみで塗布幅の変更が可能。 ダイやシムの交換にかかる段取り替えの時間を大幅に削減できます。...塗布膜厚範囲 　50～800μｍ 塗布膜厚精度 　±1.5% 　　450μm厚塗布実績 塗布幅 　　　MAX 400mm　可変幅は100mm 対応材料粘度 　1,000～15,000cps　　希釈材料は除く 送液方式 　　　メカニカルポンプ 樹脂供給方式 　加圧タンク...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

フォトレジスト薄膜コーティング試作（薄膜試作・開発支援）

コーティング困難な凹凸デバイスへ、フォトレジストの薄膜塗布を可能とした…

凹凸立体形状のMEMSデバイスへ、フォトレジスト薄膜のコーティング試作をしています。数枚から大ロットまでフォトレジスト薄膜形成の試作をご提案しております。 凹凸・立体（３D）形状に対してのレジスト塗布方法に問題を抱え、お困りでしたら、是非ご相談ください。 お客様の「レンタル試作課」として日々開発支援活動をしています。 つくば産業技術総合研究所様や横浜国立大学様、信州大学様とも技術連携し、研究...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

超小幅・超狭域ロールtoロール除塵装置「CMX」

ワーク幅 300～1500mmに対応！片面・両面小幅アプリケーション

「CMX」超小幅ウェブクリーナー装置は、片面・両面用小幅ウェブアプリケーション対応しており、ワーク幅は300～1500mmまで対応しています。 シリコン×粘着シートロールの転写方式、もしくはGapless(TM) ロールtoロールSRR/ULTシステムから選択できます。 極めて狭い空間にラップアングルでの使用に最適、標準規格のロール径はΦ70mmとΦ90mmです。 【特徴】 ○超コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

熱蒸発コーター産業の世界市場調査報告書2024

熱蒸発コーターの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケーション別、…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界の熱蒸発コーターの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国における熱蒸発コーターの販売量と販売収益を調査しています。同時に、熱蒸発コーターの世界主要メーカー（ブランド）、市場シェア、売上、価格、収入、および収入のグリースニップル状況にも焦点を当てています。 ...1.世...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

ホットメルト塗布機『ロールコーター』

緩衝材・建材・食品プラ等への塗布を主目的とした汎用性の高い普及型！

『ロールコーター』は、緩衝材・建材・食品プラ等への塗布を 主目的とした汎用性の高い普及型のホットメルト塗布機です。 従来品を20％小型化し、様々な省スペースに対応可能な 「A型ロールコーターmini」をはじめ、3種のロールの長さにて、 標準品としてご用意しております。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■A型ロールコーターmini ■A型ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京理工舎

【コーター】小型塗工機、低価格、短納期、試作、選べる塗布方式

ダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短…

コアボックスジャパンはコーターやロールプレスなどの二次電池試作設備、 高機能フイルム関連のコーターなどの装置を低価格、短納期で提供します。 また、制御盤設計製作、制御システムの構築を得意とする電気部門があり、様々な装置の制御お任せください。 当社の『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 塗布方式もお客様のニーズに適した提案をい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

フォトレジストスピンコーターの世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年10月9日に、YHResearchは「グローバルフォトレジストスピンコーターのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、フォトレジストスピンコーターの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。売上、価格、市場シェア、成長率などに焦点を当て、競合環境、競合他社、市場ランキング、技術動向、新製品開発など...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

スロットダイコーターの世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年10月9日に、YHResearchは「グローバルスロットダイコーターのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、スロットダイコーターの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。売上、価格、市場シェア、成長率などに焦点を当て、競合環境、競合他社、市場ランキング、技術動向、新製品開発など、市場内の競争環...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

【特集】マイクロチップからナノチップへ

髪の毛の約1万分の1の厚さの構造！膨大な量のデータを処理できる超小型マ…

スマートフォンやその他の高性能コンピューターは、増え続ける大量の データをますます高速で同時に処理しなくてはなりません。 そのためには、今までの性能をはるかに超えるマイクロチップを使用する 必要があります。 EUVリソグラフィは、極めて短い波長の紫外線を利用して、より強力で エネルギー効率と費用対効果に優れた超小型マイクロチップ製造を 可能にする技術です。 ビューラーは、...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

塗工装置『CEDコーター』

全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

『CEDコーター（クローズドエッジダイコーター）』は、タンク・ヘッド・ポンプ部がすべて密閉されているのが特徴の塗工装置です。 全塗工工程を完全密閉状態で行えるため、溶剤にチリやゴミなどの異物が混入しないほか、溶剤が空気に触れて蒸発することもないことから、希釈調整の必要もありません。 『CEDコーター』は、テクノスマート特許の“最新鋭のクローズドタイプコーター”といえます。 【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます！ 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップをご用意しています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）

ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…

回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！ 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は薬液によりますが、使用量3割～7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。 設計から製造・販売ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！ その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！ シリコン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

塗工機『スマートラボ』

研究・試作用途に最適！各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機

企業の研究・開発をサポートする機械として需要が高いラボ塗工装置（塗工機）。 新商品開発をにらんだマーケティングサンプルの生産に流用できます。 コンパクトな仕様ながらコーター、フローティング、巻出・巻取装置と 全製作ラインを抑えているため、目的とする製品によっては 生産機としても十分機能します。 【特長】 ■研究、試作用途に対応した高精度設計 ■各種カセットチェンジコーターラインナ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

デジタルスポットUVニスコーター『DDC-810』

リアルな商品やサービスの魅力をお客様の五感に響かせる加飾印刷 …

デジタルスポットUVニス加工は 、印刷物表面に凹凸を生み出し、 思わず触ってみたくなるような見た目を演出します。 そして、実際に触ってもらうことによって、 驚きと長く記憶に残る印象を与え、購買意欲を高めます。 当社の「デジタルスポットUVニスコーター」は、デジタルデータを基に インクジェット技術でUVニスを塗布するため、版やスクリーンを必要とせず、1枚から制作可能です。 ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デュプロ

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

塗工装置『FKGコーター』

優れた薄膜塗工性能！高精度設計による優れた再現性のコーター

『FKGコーター』は、優れた薄膜塗工性能の塗工装置です。 ロール交換、ドクターブレード交換が容易で、高精度設計による優れた再現性が特徴です。 光学系フィルム製品、ハードコートフィルム、インモールドフィルム、エネルギー関連、オーバーコート、アンカーコート等の用途に最適です。 【特徴】 ○基材の傷発生がない ○版目の転写がない ○ロール交換、ドクターブレード交換が容易 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート