エッチング装置 | イプロスものづくり

PR薄手！柔軟！だから多種多様な形状で使用可能な面状発熱体ヒーターです！

ただ発熱するだけじゃない！【1】薄くてやわらかいから小型・軽量化に貢献【2】昇温レスポンスが早いから大幅性能アップ【3】自由な形状で設計できるから用途が広がるシンワの面状発熱体は、金属箔に電気を流して発熱させる薄いシート状の発熱体です。非常に薄くてやわらかい為、曲面や狭いスペースへの加熱に適しています。さらに回路をエッチングで形成する為、設計者の意図した発熱分布を得ることが...

メーカー・取り扱い企業：シンワ測定株式会社ＦＥ部

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」サンプルテスト受付中

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテス…

バッチタイプでサブミクロンのＳｉ酸化膜のエッチングに対応。ＳｉＮ、Ｓｉ系薄膜だけでなく高融点金属や難エッチング材にも対応石英の垂直性エッチング、厚膜レジストの微細加工等ニッチデバイスの加工に最適。プラズマモード切替によるマルチステッププロセスでアッシングやクリーニングまで幅広い用途に積極対応...標準仕様ステージ寸法：２５０ｍｍ□　エッチング方式：ＲＩＥ　ＣＦ系ガス標準シンプル...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

エッチング実験装置『ミニミニエッチャードラフトチャンバー型』

温度自動制御付き！作業の効率化・安全性が図れるエッチング実験装置

『ミニミニエッチャードラフトチャンバー型』は、多種多様な実験が可能なエッチング実験装置です。ドラフトチャンバーにより、周りの環境に影響をおよぼさずエッチングが可能。作業の効率化・安全性が図れます。また、温度自動制御のほか、スプレー時間制御タイマーなどが付いており、その他、オプション等のご相談を承ります。【特長】 ■作業の効率化・安全性が図れる ■多種多様な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマテック

エッチング実験装置『ミニミニエッチャー搬送型』

基板投入、スプレー、基板取出しまでの作業を自動で行えるエッチング実験装…

『ミニミニエッチャー搬送型』は、装置全面より基板投入・取出しが可能なエッチング実験装置です。基板投入、スプレー、基板取出しまでの作業を自動で行えます。本体の材質にPVC（ポリ塩化ビニール）を使用。酸やアルカリに耐性があります。また、温度の自動制御・スプレー時間制御タイマー付きのため、多用途にご使用いただけます。【特長】 ■搬送型（自動運転：往復、手動運転：固...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマテック

デスミア装置

レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にス…

株式会社SETO ENGINEERINGでは、『デスミア装置』を取り扱っています。当装置は、レーザードリルなどで、ブラインドビア及び、スルーホールなどの穴あけ後にスミアを除去できます。ラン構成は1レーンで、加工面は両面。装置構成は、巻出～脱脂～エッチング～中和還元～～純水洗～液切り～乾燥～巻取となっています。【スペック】 ■ラン構成：1レーン ■搬送速度：0...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

ICパッケージ開封装置

物理的・電気的なダメージを与えることなくパッケージの除去が可能！高選択…

当社では、先端のIC等デバイスのパッケージに適応した故障解析のための開封装置を提供しております。独自の新規プラズマ技術MIP(Microwave Induced Plasmaマイクロ波誘導プラズマ)を有し、 O2(酸素)プラズマを用いてパッケージを除去。また、一つの装置内でエッチング、洗浄、乾燥、一連のプロセスを自動で行うことが可能です。【特長】 ■マイクロ波誘...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

酸・金属塩分離装置「リサイター」

水の使用のみで金属塩と遊離酸を分離します！動画掲載中！

リサイターは金属を含んだ酸溶液を特殊なイオン交換樹脂で金属塩と遊離酸に分離して、金属塩を排出する装置です。遊離酸の回収には薬品や熱などのエネルギーは必要なく、水を使用するだけなので、大変経済的です。エッチングなど処理液の組成や濃度を一定に保ちます。 *酸処理液の濃度管理の自動化。　*酸処理工程の安定化。 *酸処理液の長寿命化。　*酸消費量の削減。 *廃酸処分費の削減。　*排水処理への負荷...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三進製作所

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－２０

あらゆる用途に対応可能な高性能装置。調整後はボタンひとつでＯＫ！

プラズマイオンボンバーダ　ＰＩＢ－２０型は好評な弊社製PIB-10形親水処理装置の多機能モデル。TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでＯＫ！RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で！...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

吸着再生式排ガス処理装置

エッチングプロセス用の湿式除害装置です。

本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。【特長】・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。・水のみを使用するため、アルカリ汚染がありません。・水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できます。・気...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

プラズマクリーニング装置「POEM」（プラズマクリーナー）

　多機能型プラズマクリーニング装置。サンプルテスト受付中クリー…

半導体製造装置のチャンバをシンプル化・低コスト化しプラズマクリーニングに応用プラズマモード切替機構（ＲＩＥ，ＤＰ）とマルチガス（Ａｒ、Ｎ２，Ｏ２，Ｈ２）プロセスにより従来にない表面処理を実現。基板洗浄（酸化物・有機物除去・微細異物除去）親水性処理（メッキ前処理、半田濡れ性向上）撥水性処理（ウェット工程前処理）リフロー前処理に実績豊富　半田濡れ性向上効果大ハイエンド製品（高密...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

3M(TM) フィルターハウジング 5VC_7VCNタイプ

耐薬品性に優れているため、エッチング液、海水、化学薬品などに使用可能！…

『スリーエム/3M(TM)フィルターハウジングVCNタイプ』は、従来よりエッチング業界等で数多くご採用いただいている当社設計ハウジングの実績を生かし開発された製品です。新たにドレンを設けた他、特に、塩ビ以外の構成部材の耐食性にも着目し、クランプをPTFEコーティング、架台はポリプロピレン粉体塗装を標準とし、耐食性をさらにアップ。一般工業はもとより、エレクトロニクス産業用の強酸、強アルカ...

メーカー・取り扱い企業：スリーエムジャパン株式会社フィルター製品事業部

エキシマUV表面処理装置

ウェット処理との組合わせ自動処理でプロセスの高品質化

■エッチング前処理、レジスト除去前処理、剥離後洗浄、接着前処理等に有効　◎エッチング前処理…親水化、均一性向上　◎レジスト除去前処理…レジスト最表面硬化層改質除去　◎剥離後洗浄…微量レジスト残差の除去　◎接着前処理…有機物除去で接着強度Up ■高い光子エネルギーで分子結合を分解 ■基板やデバイスパターンへの放電やダメージが無い ■瞬時点灯/消灯が可能 ■水銀不使用で環境にや...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

プリント基板事業

消耗品のご提案・サポートも対応！薬品から製造設備の選定、設置までをトー…

株式会社ワイケイシーで行っている、『プリント基板事業』では、プリント基板製造に関わる薬品から製造設備の選定、設置までをトータルに行います。また、ルータービット、ドリル、カートリッジフィルター等の消耗品のご提案・サポートも対応。多様化するニーズにお応えしますので、ご用命の際はお問い合わせください。【特長】 ■薬品から製造設備の選定、設置までをトータルに対応 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイケイシー

各種製造装置

半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラ…

【半導体装置】 ■Ф300mmカセットレス（50枚搬送） ■5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置 ■有機洗浄装置 ■Siナゲット洗浄装置 ■GaAsエッチング装置 ■マランゴニドライ洗浄装置 ■自動カセットオーブン ■ウェハ移載装置 ■石英管洗浄装置 ■石英管保管庫 ■スピンドライヤ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

高分子材料研究、医薬品や電子・化学分野の異物分析や品質管理等に！

化学結合状態分析、バイオロジーからナノテクノロジー・ポリマー・最先端材…

様々な分野で活躍できる、日本電子株式会社の商品を3つご紹介いたします。ご興味のある方はお気軽にお問い合わせください。〇JPS-9030 光電子分光装置(XPS) 　「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現した汎用型XPSです。カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社

【PLAZMARK活用事例】半導体メーカーパッケージング部門

作業効率が飛躍的に改善！低コストで頻繁に評価でき品質も向上した事例

半導体メーカーのパッケージング部門生産部が『PLAZMARK Arクリーニング用』を導入した事例をご紹介いたします。ワイヤーボンディング前のプラズマクリーニングの効果の確認が必要で、 Auのエッチングレートによる管理をしていますが、装置が高価、測定は面倒、誰でもできるというものではなく、試験片が高価という課題がありました。当製品の導入によって、作業効率が飛躍的に改善。数ヶ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部