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もやもやを解決!エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」
PR【何となくで選んでいませんか? 】エンコーダ付きステッピングモーターの…
一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。 本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」 「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。 初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、 何となく使用していたけど改めて知りたい方にも 活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。 【掲...
メーカー・取り扱い企業: ミネベアミツミ株式会社 回転機器
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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50mm~500mm エンコーダは用途により1um~0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業: TOYO ROBOTICS株式会社
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超精密誘導式アブソリュートエンコーダの薄型・軽量モデルです。
超精密電磁誘導式エンコーダ IncOder(インコーダ) の豊富なラインナップに、新たに カスタム対応として「基板タイプ」 が加わりました。この「基板タイプ」インコーダのアプリケーションの1つとして「タンデム・エンコー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社緑測器 東京営業所
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Zettlex電磁誘導式中空リング形状アブソリュートエンコーダ
レゾルバ同様劣悪環境対応、22ビット高分解能・高精度が可能なアブソリュ…
Zettlex概要・特長 ・大径シャフト軸等の最終メカ回転部に容易に直接取付可能な薄型中空リング形状の電磁誘導式アブソリュートエンコーダ。ギヤ・減速機類を介さずシステムレベルでの精度向上に貢献 ・Φ5~Φ526mmのシャフトに直接取付可能 ・最高22ビット分解能(420万分割/回転)、出力形式はSSI、BiSS等のシリアル出...
メーカー・取り扱い企業: ノヴァンタ・ジャパン株式会社 セレラモーション事業部
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【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…
メータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能 ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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自己校正機能を有するロータリーエンコーダ(校正精度±1″)
本ユニットは、自己校正機能を有するロータリエンコーダです。 ディスク部とヘッド部の2ユニットで構成され被測定物に直接組み込む事により、被測定物を高精度に測定可能です。○校正精度±1″ 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: エ・モーションシステム株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部機...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)
サブミクロン分解能で位置決め!エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20~40…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm(0.1μm)か50nm(0.05μm)分解能で動作します。 ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いス...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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旋回範囲の拡大、4Kカメラ搭載など、測定機能を強化したグレードアップ機…
mm(分解能 8.3μm) 中径用レンズ 16.0×11.5mm(分解能 4.1μm) 小径用レンズ 8.5×6.1mm(分解能 2.2μm) 旋回範囲:0~135°(エンコーダ測定によるデジタル表示) その他:PC、モニター(27インチ)を標準付属 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: 菱高精機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れており...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークが...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めがで...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414
50nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応していま...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応していま...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め!再現性に優れ、20~200mmストロークのス…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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5nm分解能で位置決め!再現性に優れ、可動距離がミリオーダー
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能(0.1μm or 0.05μm)の再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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