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PRICタグによりウェア管理業務を省力化! 洗濯回数が把握できるようにな…
当社では、お客様のクリーンウェアにICタグを取り付け、当社工場への 入荷時と出荷時に専用のICタグリーダーで読み取りを行い、ウェアごとの 洗濯回数データを管理できる『ICタグによるクリーンウェア管理サービス』を行っております。 ICタグを取り付けたウェアごとに洗濯回数を個別管理できるため、 お客様が設定された洗濯回数を超えたウェアをタイムリーに交換可能。 ウェア劣化によるコンタミネー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社菱進
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PRハロゲンランプヒーターより放射される光(近赤外線)を照射し、高温・急速…
近赤外線ヒーター ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。 反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。 熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm~3mm程度の集光が可能です。 ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイベック
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自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…
ト:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理!】複数サイズ兼用装置はダウ…
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off
短時間剥離!当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1400×1100×1900(本体・薬液BOX一体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
逆テーパー角度を一定に!ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在!2流体スプレーレジスト現像…
ト:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高圧ジェットで驚きの剝離能力!当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
ただけます) ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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静止現像式(パドル)自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
ト:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
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