サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびサファイア基板と接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。　　作動面とサファイア基板との間隙を通過した排出...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 　◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。 　◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。 　◎ミキシング、周速制御等スピン系の各種要素技術の全ては、 　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

高周波超音波洗浄機（メガソニック）　UMCシリーズ

精密洗浄に適する高い周波数洗浄機（500kHz、1MHzHz）----…

ーター等によるリモートコントロールができる。 ４、投込型、振動板型振動子の製作が可能。 この高周波数超音波洗浄機UMCシリーズは、半導体ウェハー、ハードディスク基板、ディスプレイ用ガラス、サファイア基板、水晶ウェハー、石英ガラス、メタルマスク等の洗浄に適する。 ...

メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社

石英・パイレックス・青板など各種ガラス加工部品

石英・パイレックス・青板など各種ガラス加工部品

化学工業用ガラスの成形・研磨加工 穴あけ、超音波加工、強化ガラス処理、バフ研磨、鏡面研磨、大型基板両面平坦研磨、etc 石英、パイレックス、テンパックス、青板ガラス、 バイコール、ソーダガラス、BK-7、 単結晶サファイア、理化学用ガラス、 シーリング用粉末硝子（ソルダーガラス）等 ...化学工業用ガラスの成形・研磨加工 穴あけ、超音波加工、強化ガラス処理、バフ研磨、鏡面研磨...

メーカー・取り扱い企業： 橋本理研工業株式会社

実験・研究用露光装置

コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライ…

【主な特長】 ・多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置 ・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。 ・割れ基板へのオートアライメントが可能。 ・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。 ・UV-LED光源搭載可能 ・レシピ管理機能 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。...【主な仕様】 ・サイズ：Ø2～Ø8” ・マスクサイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

Ø150mm対応露光装置

Ø2”～6”対応全自動露光装置（マスクアライナ）

【主な特長】 ・全機能がコンパクトに一体化 ・独自のアライメントシステムを搭載。 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助と生産管理。 ・上位通信システム対応可能。 ・量産用としてのべ５００台以上の販売実績。 ...【主な仕様】 ・サイズ：Ø2～Ø6” ・マスクサイズ：□4～□7” 【対応基板】 ・シリコン、セラミック、サファイア、ガラス、水晶、他 ※各...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

株式会社ジャステム　事業紹介

測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム

株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェーハ、LED基板用サファイアウェーハ、太陽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ