スパッタリング | イプロスものづくり

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

搬送室を中心としたクラスター型スパッタリング装置。基板搬送もベア及びトレイ（サセプター）も標準対応。矩形・小径・不定形多くの基板に積極対応。最大8インチ及び8インチ相当の矩形基板に対応。6角形タイプと4角形タイプの２機種を標...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

装置形態：巻取式マグネトロンスパッタリング装置基板寸法：最大幅１０００ｍｍまで対応カソード数：最大４元膜種：金属・磁性膜・反応性酸化膜オプション機構：プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒータ・加熱ロール等...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

スパッタリング　薄膜加工　成膜加工（薄膜成膜受託加工）

スパッタリングは低温でもすぐれた密着が得られます。ローコスト・短納期に…

スパッタリングは乾式メッキ法に分類され、コーティングする対象物を液体や高温気体にさらす事なくメッキ処理が出来ます。それにより様々な基盤材料(樹脂・ガラス・セラミック・その他)の板物・成型品に、例えば電極・シールド・マスキングとして使用されています。【特徴】・異なる金属を同一ターゲットに「合金」として加工し成膜する事が可能・クリーンな表面処理加工 ※詳しくは、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ビースパッタ

コーティング技術『スパッタリング』

色や質感など、アレンジ自在！環境にも配慮した塗膜の先進技術です

当社では、環境に配慮しリサイクル性にも優れた薄膜加工を代表するコーティング技術『スパッタリング』を用いて、強さと美しさを併せ持つ塗膜をご提案いたします。当社のスパッタリングはクロム、その他金属など、使用するターゲットによって様々な色調や質感を得ることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社戸塚綜業

導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

独自高密度スパッタ法　アーク放電型マグネトロンスパッタリング法（ＡＤＭＳ法）によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。導電特性と膜の安定性よりエネルギー・バイオセ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。高効率強磁性体用カソードやワイドエロー...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。次世代デバイスの...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ＡｌＮテンプレート作成装置（配向性ＡｌＮ膜用スパッタリング装置）

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を…

ＵＶ－ＬＥＤの製造の低コスト化に必要なサファイア基板へのＡｌＮテンプレートをスパッタで作成。１００arc／ｓｅｃ以下のＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜を低温（７００℃以下）でスパッタリングで形成。シンプルかつ安定したプロセスとハイスループット性でＵＶ－ＬＥＤの低コスト化に貢献。サンプルテストに対応中、高周波デバイスへの展開も開発中。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

異なる金属種の連続製膜も対応可能！『スパッタリング加工』

各種基材へロール to ロールで金属薄膜を形成します。

河村産業では、各種基材へ銅・ニクロム合金・クロムのスパッタリング加工を行っています。より密着力が必要な場合は、弊社のプラズマ処理を前処理として行うなどの提案が可能です。【河村産業の『スパッタリング加工』の特長】　■ロール to ロールで...

メーカー・取り扱い企業：河村産業株式会社

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーするシンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種のプロセス性能を維持した上で、大きなコスト...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

スパッタリング・イオンプレーティング加工

スパッタリングは物理的薄膜形成技術（PVD）であり、ガラス、プラスチッ…

スパッタリングは、イオン工学を応用した新しい表面処理技術で、樹脂メッキのような公害問題もなく、真空蒸着では困難であったCrをメッキできるという特色をもっております。 ABS樹脂以外の各種エンジニアリング・プラスチックスにもCrメッキができる………「プラスチックの表面処理に新しい時代を拓く」………新技術です。 Cr以外にもほとんどすべての金属が可能で、更に樹脂メッキのCrに近い色調を出すことが...

メーカー・取り扱い企業：安達新産業株式会社本社