高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【遠心分離機】産業排水用 デカンタ型遠心脱水機 pro

PRコンパクトなデザインの目詰まりの無い連続式自動デカンタ型遠心脱水機!

世界大手の遠心分離機メーカーのデカンタ型遠心脱水機です。 デカンタ型の特徴 ・目詰まりが無い ・洗浄水が少ない ・クローズタイプで臭気が少ない ・汚泥性状（濃度）の変動にも幅広く対応 ・自動運転で手間が掛からない ・小設置スペース...弊社デカンタの特徴 ・処理量　　　　　　：数百L/h～90m3/h（豊富なラインナップ） ・高遠心力　　　　　：最大3400G～4060G（機種により異なります）...

メーカー・取り扱い企業： GEAジャパン株式会社 本社

高効率塗装システム　ツインスピン塗装システム

自動車の内外装、家電、デジカメ筐体等の部品塗装に最適です。

除電・除塵から乾燥までを一貫して自動化できます。この他にも様々なご提案が可能です。 【サイクルタイムと塗料使用量を削減】 ・1つのテーブルで2つのドラム冶具を回転させながら塗装する「ツインスピン方式」 【歩留まりの向上】 ・搬送用のコンベアと塗装作業を分離する事で、ゴミ・ブツの最大原因である”コンベアの汚れ”を大幅に削減 ・ワーク搬送をロボット化する事により、人によるゴミ・ブツ...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

スピンコータ（SSC-01型）

溶液をスピンコートにより塗布する装置です

本機械は、シリコンウェーハに、溶液をスピンコートにより塗布し、近赤外線ランプにより乾燥する装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

スピンコートによる均一な塗膜生成方法とは

微妙なズレが、膜厚のムラに繋がる！様々な課題の解決を当社がお手伝いしま…

『スピンコーター』は、高品質の塗膜を効率よく均一に生成できる手段です。 しかしデリケートな基板、薬液であればあるほど少しの変化で膜厚を均一に することができなくなり、微妙なズレが膜厚のムラに繋がっ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

最新静電印加式FSマイクロスプレーガン

低粘度材料を薄膜塗膜形成する用途と中高粘度塗布材料を数十μｍの成膜形成…

出し搬送後に、静電気力の応用でサブストレートに吸着することを可能にしました。電子の力でコーティングすることは、エッジに電界が集中する性質があるためカバーレッジが良いと言えます。このような特長から、スピンコートではコーティング不可能な複雑な形状のサブストレートにも成膜することが出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。 塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。 また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。 トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。 【特長】 ■塗布...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション

マイクロ静電塗布装置

FS式マイクロ静電バルブを配備した、高微粒子で均一塗布をする塗布装置

出し搬送後に、静電気力の応用でサブストレートに吸着することを可能にしました。電子の力でコーティングすることは、エッジに電界が集中する性質があるためカバーレッジが良いと言えます。このような特長から、スピンコートではコーティング不可能な複雑な形状のサブストレートにも成膜することが出来ます。 　中高粘度塗布材料を数十μｍの成膜形成用は静電マイクロスプレーは、粘性がある材料を細微粒化させるためのスクリ...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

【薄膜を均一に成膜可能！】スピンコーターのオーダーメイド

塗膜の厚みの均一にする課題を解決！薬液の粘度や性質、基板の材質やサイズ…

どの用途においても塗膜の厚みの均一さは課題となりますが、薬液の粘度や 性質、基板の材質やサイズに合わせた仕様の『スピンコーター』と試料台を 用いなければ課題達成が難しくなり、効果的な結果を得られません。 ぜひ一度アクティブにご相談ください。 お客様のご要望をできる限り汲んだご提案をいたします。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

立体レジスト塗布装置「スプレーコーター　DC110/DC210」

スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応。膜厚は１μｍ～６００μｍまで…

【特徴】 ○微細粒子化が可能なスプレーノズルにより 　サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった 　従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できる ○スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール 　トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能 ○塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜...

メーカー・取り扱い企業： 三明電子産業株式会社

スピンコーターの基礎知識

簡単に思い描く環境を実現！課題や要望に合わせて細かな設定をすることがで…

『スピンコーター』とは、高速回転の遠心力を使い平面な基材に塗膜を 構成させる装置です。理想通りの塗膜を得るためには、回転プログラムの 構築が重要となります。 当製品は、現在抱えている課題や要望に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ