技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変化 ４. ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

イーエッチシーの新技術！評価セルのギャップ範囲拡大に成功！

研究者の方必見！評価セルのギャップ範囲が０．７～１００μｍに拡大しまし…

○ポリイミド樹脂：LX-1400（日立化成製） ○塗布厚：200?以下 ○垂直配向剤：セチルトリメチルアンモニウムブロマイド ○膜の製法：スピンコート ○ラビングロール →繊維：ポリエステル →繊維長さ：8mm →ロール直径：58mm ○ラビング条件 →ロール回転数：600rpm →移動速度：30mm/sec →回数：３往復 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー