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溶液をスピンコートにより塗布する装置です
本機械は、シリコンウェーハに、溶液をスピンコートにより塗布し、近赤外線ランプにより乾燥する装置です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム
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低粘度材料を薄膜塗膜形成する用途と中高粘度塗布材料を数十μmの成膜形成…
し搬送後に、静電気力の応用でサブストレートに吸着することを可能にしました。電子の力でコーティングすることは、エッジに電界が集中する性質があるためカバーレッジが良いと言えます。このような特長から、スピンコートではコーティング不可能な複雑な形状のサブストレートにも成膜することが出来ます。 ...
メーカー・取り扱い企業: Shimada Appli合同会社 コーティング開発部
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塗布材料が最大1/30に削減可能!成膜を効率よく、最小限のコストで行え…
『最先端コーターHIT-IIIS』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。 塗布材料を従来のスプレー方式の1/2、スピン方式の1/30以下に削減可能です。 また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。 トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。 【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒットコーポレーション
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