スピンコート | イプロスものづくり

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

D962×H扉閉996(扉開1650)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ500mmまで、四角基板の場合は□360mmまで）の場合はこちらのカップ径700mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。処理する基板が小型（丸基板の場合は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用していま...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。 ACT-700AII（カップ径700）でスピンコートできる基板サイズはφ500mm（□360mm）になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

ータ最大出力350W）50/60Hz ■回転制御速度/回転精度：1,000～60,000rpm/±1％以下（Φ20mm標準負荷時）、出荷時リミッタ設定可能 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス！ https://www.acti-ve.co...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

フォトリソグラフィー装置　ME-2500

有機EL等の基板製造装置に最適！

基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置で...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

スピンコータ（SSC-01型）

溶液をスピンコートにより塗布する装置です

本機械は、シリコンウェーハに、溶液をスピンコートにより塗布し、近赤外線ランプにより乾燥する装置です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

セミオートレジストコーター

レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配り…

当社で取扱う小型レジストコータのご紹介です。ガラス基板にレジストコート材をスピンナーにより塗布処理。チャンバー内気流制御、メンテ性にも気配りをしており、レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、スピン洗浄装置、スピンコーター、半導体製造装置、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』＊デモ機貸有り

１台あればコーティング・洗浄・エッチングなど様々なプロセスに対応ができ…

コーティング、洗浄、エッチング、それぞれの工程を別機で処理していて工数がかかっていて短縮したい…そんなお悩みをお持ちの方いらっしゃいませんか。協同インターナショナルの樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』が解決します。１台でコーティング、洗浄、エッチングなど、さまざまなプロセスに対応可能です！またデスクトップタイプ、ミニウェットステーションとタイプも選べます。【特　長】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適蒸着・スパッタ・アニール等全て…

ab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現します。【特徴】 ◉ PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。 ◉ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。【M...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』

半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！　　　　　　　　　　　　 …

グを提供します。立体（３Ⅾ）サブストレートのコーティングに最適条件の標準化が可能です。また、特殊アトマイジング方式により、最適な微小粒子をコーティングします。【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可能 ■ステップカバレッジの良好な薄膜コーティングが可能 ■100nm～100μmの膜厚形成が可能（フォトレジスト・FC触媒膜） ■効率75...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒットコーポレーション

スプレーコーター　ACingTec　IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

【特長】　●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能　●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能　●コーティング液の利用効率が高い（従来スピンコートの数十倍程度）　●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能　●高メンテナンスを実現【仕様】　●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ　（他形状にも対応）　●...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-22…

アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-220AII』は弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型の手動滴下用スピンコート機です。約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を選ばずご使用いただけます。低価格ながら1分間の回転数を0～7000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下とと...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

加熱スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』

注目度高し！　試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することがで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-30…

負荷時) ■カップ（内径）：Φ300 ■外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-400AII』

□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400…

負荷時) ■カップ（内径）：Φ400 ■外形寸法：W450×D550×H扉閉313(扉開745)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター400W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ200mmまで、四角基板の場合は□150mmまで）の場合はこちらのカップ径400mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-450AII』

□180mm、10インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-45…

サーボモーター400W）50 / 60Hz 基板が小型（丸基板の場合はφ250mmまで、四角基板の場合は□180mmまで）の場合はこちらのカップ径450mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-500AII』

□220mm、12インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-50…

付762)×H扉閉365(扉開893)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ300mmまで、四角基板の場合は□220mmまで）の場合はこちらのカップ径500mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-600AII』

□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-60…

085)×H扉閉986(扉開1640)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ400mmまで、四角基板の場合は□300mmまで）の場合はこちらのカップ径600mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』

MAX12000rpm！高精度な高速回転スピンコート機ACT-300A…

『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。こちらをベースにした特注（オプション追加）も承れ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下！　卓上型スピンコート機ACT-300…

mlより選択可能【仕様（一部抜粋）】 ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz ■制御方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ、もし...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

大型基板用レジストコータ

チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコート…

当社で取扱う大型基板用レジストコータのご紹介です。大型基板に対応したレジストスピンコートユニットです。チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れ、大型の基板に対応した自動搬送機付のモデルも御提案できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研