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凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』
半導体・MEMS・センサーデバイスに最適! …
グを提供します。 立体(3Ⅾ)サブストレートのコーティングに最適条件の標準化が可能です。また、特殊アトマイジング方式により、最適な微小粒子をコーティングします。 【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可能 ■ステップカバレッジの良好な薄膜コーティングが可能 ■100nm~100μmの膜厚形成が可能(フォトレジスト・FC触媒膜) ■効率75...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
【特長】 ●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能 ●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能 ●コーティング液の利用効率が高い(従来スピンコートの数十倍程度) ●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能 ●高メンテナンスを実現 【仕様】 ●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ (他形状にも対応) ●...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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