技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変化 ４. ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

中小型タッチパネルの機能・耐久・生産性を向上させる材料技術

中小型タッチパネルの高機能化と生産性向上に寄与する材料の開発技術を詳説…

第7節　異方導電性ペーストの強度向上にむけた改良 第4章　生産性向上に重点をおいた材料技術 第1節　タッチパネル用ブラックレジスト及びスクライブレジストの技術動向 第2節　ZnO薄膜のスピンコート法成膜技術 第3節　ナノ粒子インクを活用した印刷プロセスによる透明導電膜形成技術 ・・・他3節...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社