スピンコート | イプロスものづくり

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

D962×H扉閉996(扉開1650)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ500mmまで、四角基板の場合は□360mmまで）の場合はこちらのカップ径700mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。処理する基板が小型（丸基板の場合は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用していま...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。 ACT-700AII（カップ径700）でスピンコートできる基板サイズはφ500mm（□360mm）になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

ータ最大出力350W）50/60Hz ■回転制御速度/回転精度：1,000～60,000rpm/±1％以下（Φ20mm標準負荷時）、出荷時リミッタ設定可能 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス！ https://www.acti-ve.co...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-22…

アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-220AII』は弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型の手動滴下用スピンコート機です。約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を選ばずご使用いただけます。低価格ながら1分間の回転数を0～7000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下とと...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

加熱スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』

注目度高し！　試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することがで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-30…

負荷時) ■カップ（内径）：Φ300 ■外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-400AII』

□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400…

負荷時) ■カップ（内径）：Φ400 ■外形寸法：W450×D550×H扉閉313(扉開745)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター400W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ200mmまで、四角基板の場合は□150mmまで）の場合はこちらのカップ径400mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-450AII』

□180mm、10インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-45…

サーボモーター400W）50 / 60Hz 基板が小型（丸基板の場合はφ250mmまで、四角基板の場合は□180mmまで）の場合はこちらのカップ径450mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-500AII』

□220mm、12インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-50…

付762)×H扉閉365(扉開893)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ300mmまで、四角基板の場合は□220mmまで）の場合はこちらのカップ径500mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-600AII』

□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-60…

085)×H扉閉986(扉開1640)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ400mmまで、四角基板の場合は□300mmまで）の場合はこちらのカップ径600mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』

MAX12000rpm！高精度な高速回転スピンコート機ACT-300A…

『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。こちらをベースにした特注（オプション追加）も承れ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下！　卓上型スピンコート機ACT-300…

mlより選択可能【仕様（一部抜粋）】 ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz ■制御方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ、もし...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社