FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ドラフトチャンバー（機器組込み型）

ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。

基本ドラフトチャンバー内に使用機器を組込むことにより、使い勝手の向上と安全面の向上が得られます。 ダルトンでは用途に合わせ、最適なユニットをご提供致しますので、作業効率の向上が実現します。 現在お使いの槽やスピンコーターを組込む仕様にも対応致します。 【特長】 ■内部配管、配線等が整理され、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…Jet...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

スピンコーター組込みドラフトチャンバー

ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです

スピンコーターに必要なユーティリティ取合いをドラフト背面側へコンパクトにまとめることで、作業場の安全性と作業性が向上します。 仕様◇ 外装：SS+焼付塗装 内装：SUS304#400相当品 照明：黄色LED コンセント：2ヶ所 作業台へ6mmチューブ接続継手 作業台耐荷重：80～100kg レベルアジャスター 排気風量監視装置付き（標準）...仕様◇ 外装：SS+焼付塗装 ...

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HFEベーパー乾燥装置

安全性を十分考慮した製品

ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

コンベア式エッチング装置

お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能で…

液晶ガラスやタッチパネルなどに用いられる枚葉基盤を処理する装置です。 【特長】 ■対応ワーク　100mm角～1000mm角まで対応可能。（他のサイズ、形状は別途相談） ■揺動機構（水平揺動・スプレーノズル首振り）を付けることにより、処理効率を向上させます。 ■カセットtoカセット対応も可能。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。...※...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

石英管保管庫

石英管や治具を安全に保管

さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■石英管や治具を安全に保管出来ます。 ■縦型保管と横型保管を選べます。 ■オプションにてN2パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

薬品保管庫

クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫

さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。 ■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

スピンドライヤー

1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。

自動機組込可能。 ※割れ易い（GaAsなど）ワーク用も有ります。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。 ■自動機への組込も可能です。 ■割れ易い（GaAsなど）ワーク用もあります。...

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治具洗浄装置

カセットや石英治具等、あらゆる治具の洗浄をご相談に応じて設計製作します…

大型治具の洗浄も設計製作できます。カセット洗浄の場合は、ブラシ組込による精密洗浄付もご用意できます。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N...

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FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

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排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 ...

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ボンベ真空加熱炉

半導体製造工程などで使用する高純度ガスボンベ内に付着している不純物を除…

ボンベの内壁に付着している不純物を加熱真空引きにより取り除きます。 ボンベサイズ、同時処理本数はカスタマイズにて対応します。 自動機、手動機など予算に合わせご提案します。 【特長】 ■ボンベの均一な加熱が可能です（Max200℃）。炉内温度±約1％ 。 ■ボンベ加熱と同時にボンベの安全弁への冷却も可能です。（熱による安全弁の破損防止の為） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

薬液供給・回収装置

薬液供給装置・薬液回収装置

少量から大容量、及び各種薬液により設計製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...●薬液供給装置 N2圧送式、ポンプ圧送式から選択でき、液管理、pH 管理、自動濃度管理機能付もできます。お客様の安全を第一に考えた製品をご提供致します。 ●薬液回収装置 ポリタンク回収や大型タンク回収も設計・製作し...

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ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン