FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野で求められる超精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200

PRスクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れ…

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行 テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TWE-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

MPa以上）; リストブロック揺動用（0.3MPa以上） 質量 ロボット本体 約37kg コントローラ仕様 コントローラ型式 C5000Sシリーズ インタフェース RS232C, パラレルフォトI/O...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

JCT1-0500ティーチングボックス

ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。

33.3mm　20×8文字 (128×64ドット) コネクタ HR10-7P-6P(73)/ヒロセ電機製 非常停止ボタン A165E-S-03U　(赤色) OMRON製 非常停止用SW出力：フォトカプラ出力　UL508やEN418適用規格 デッドマンスイッチ A4E-B200HS OMRON製　3ポジション イネーブルスイッチ　UL508やANSI/RIA R15.06-1999適応規...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

関節換算5kgf(チャック、ワーク含む） ツインアーム採用により、ウェーハ交換時間の短縮 壁掛けタイプ走行軸により、低パスラインを実現 動作モニター装備 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 全軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

0-6Pa ユーティリティ 電源：DC24V±10% 4A 質量 ロボット本体 約7kg コントローラ仕様 コントローラ型式 C4301シリーズ インタフェース RS232C, パラレルフォトI/O 本仕様はTSVCR3060N-020-PMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

ッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと300mmの兼用タイプも製作可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

ル使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

流電圧：DC24V±10% 4A 真空：-70kPa以上 質量 ロボット本体 約4kg コントローラ仕様 コントローラ型式 C4301シリーズ インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O 本仕様はTSCR3060N-135-PMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル