ガススプリング　業界最大級１６５種類の品揃え！

PRフリーピストンタイプとオールガスタイプを標準品としてラインナップ！最大…

「HANIL-TSB ガススプリング」は、圧縮窒素ガスを使用しているので小型・軽量でバネ定数が小さいです。広範囲のストロークにわたってほぼ一定のバネ力が得られ、ピストンロッド作動速度のコントロールが可能です。 当カタログではガススプリングの構造をはじめ、反力特性や選定、使用上の注意、ラインアップをご紹介しています。 【ラインナップ】 ■ 標準在庫品 ー フリーピストンタイプ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

【シロキサンフリー】半導体チップ搬送ケース『ゲルベースVタイプ』

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り 安全に保管・搬送！シロキ…

ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。 搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。 粘着材不使用・シロキサンフリーで安心してご使用いただけます。 搬送時は部品をしっかり固定し、真空装置で真空引きすることで簡単にピックアップできます。 【特長】 ■精密部品を搬送時の振動などから守り、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクシール 本社

大型ドアー L-VAT　Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

-ショックフリーなL字動作 -パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 -保有コストが低い ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

プロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社