フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【顧客事例】デジタルツールを導入し試作板金加工の業務プロセス革新

PR業務フローの早期段階、金型を製作する前のCAE解析で問題点を事前に見直…

試作板金加工と金型設計製作を主な生業としている、岡山県赤磐市の株式会社ラピート様 は以前の業務プロセスの問題を解消するため、AutoFormのデジタルツールを活用して、 業務プロセスを見直しました。会社を挙げてDX（デジタル・トランスフォーメーション） に取り組んだことにより、大きな成果を挙げることができました。...※詳しくはJapanFormingまたはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： オートフォームジャパン株式会社

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

（塗布液使用量はスピンコータの1/3以下） ■洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に ■異形材料への塗布、異形状の塗布が可能 システム提案も対応いたします。 プロセスフロー例： ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM) 乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置） 焼成プロセス Op...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

火炎内処理設備『INFLAZ』ミニ試験機

少量試作に適した低価格版が登場！当社従来試験設備の1/8（容積比）を実…

『INFLAZ』は、純酸素燃焼バーナの高温火炎を利用した 火炎内処理設備です。 粉体の球状化や噴霧焼成を対象に製品の歩留まり・品質向上、 既存プロセスの改善にお勧め。 球状化以外に、不純物除去などにもご使用いただけます。 【特長】 ■少量からのテストが可能 ■投資コストを大幅削減：当社従来試験設備の1/5を実現 ■コンパクトサ...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

流動床式加熱設備

熱技術のCHUGAI ROから 独自コア技術の新分野活用を可能にする…

ごみ焼却、下水汚泥焼却で培った流動床式加熱技術を高機能材の焙焼やリサイクルプロセスにリニューアル！...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

真空焼結炉『VSシリーズ』

高合金鋼や電磁材用合金など多様な材料の処理が可能な、省スペース型真空焼…

『VSシリーズ』は、従来の焼結プロセスを短縮し、脱ワックス、 真空焼結、冷却を連続して行う真空焼結炉です。 焼結室での厳密な温度均一性、合金元素蒸発防止法などを 重視した設計で、高合金鋼や電磁材用合金の焼結に好適。 ま...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社