プロセス | イプロスものづくり

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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...
メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
資料『3Dプリント(積層造形)に適した設計方法』＜無料進呈中＞

PR2028年までに6.5倍の収益増加が予測される3Dプリントの活用に向け…

「3Dプリント(積層造形)はこれからの製造プロセスを大きく変えるテクノロジー」として評価されています。そして、製造業で実績を上げている優良企業の48％が、競争力を高めるためのテクノロジーとして以前は製造が難しかった形状を造形できる3Dプリントを挙げています。（注1） 3Dプリントは2028年までに780億ドルにまで達すると予測されています。今後、定着することが明白なこのテクノロジーをメー...

メーカー・取り扱い企業：ソリッドワークス・ジャパン株式会社
プレCMPスラリー：CMPプロセス時間を短縮

柔よく剛を制す！シリカにダイヤモンドをブレンドした硬質基板研磨用スラリ…

サファイア、SiC、窒化ケイ素など、硬質材料の研磨におすすめのプレCPMスラリーです。CMPの前に使用することで、CMPのプロセス時間を短縮可能です。【このような場合におすすめです】 ■CMPのプロセス時間を短縮したい方 ■微細スクラッチ等の除去を効率化されたい方 ■過マンガン酸カリウムスラリーの負荷を低減され...
メーカー・取り扱い企業：ピュアオンジャパン株式会社
株式会社クリスタルプロセス 会社案内

先端の原料を用いて、柔軟な発想で研究開発に取り組んでいます！

株式会社クリスタルプロセスでは、先端技術を駆使し有機合成・無機合成化学を用いた表面被膜の研究および商品化に取り組んでいます。シリコーン樹脂（ケイ素）、フッ素樹脂、ダイヤモンド微粒子、セラミック等の主原料を用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリスタルプロセス
【研磨パッド(PAD)】セラミック材向け精密ファイナルパッド

半導体関連装置向けのセラミック部品の高品質化に役立つ研磨パッドです！

、光学レンズ用)をはじめ化合物やシリコンなど様々な材料の研磨パッドとして採用されており、お客様のご要望にお応えしております。セラミックス研磨用にご提案の不織布パッドは厳格な品質管理プロセスによりしっかり管理された工場で生産されているため品質は安定しています。不織布ベースは3種類(軟質、中質、硬質)と各種タイプ取り揃えております。はじめて不織布をご検討のお客様には中質...
メーカー・取り扱い企業：八千代マイクロサイエンス株式会社
ダイヤモンドスラリー『SPO』：スタンダード油性スラリー

ダイヤモンドタイプ、粒子サイズ、濃度などお客様のご要望に応じて調合する…

ラリーに比べて25％も高い研磨レートを実現　他の油性スラリーに比べて研磨レートが劇的に高くなります。 ■高性能な安定剤がダイヤモンド粒子の沈殿を防止ダイヤモンド粒子の沈殿を防止して、作業プロセスを効率的かつ安定的なものにします。 ※攪拌装置を装備した装置による機器・ご用途に対しては、安定剤を含まないスラリーにて提供可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業：ピュアオンジャパン株式会社
ＣＢＮ70(立方晶窒化ホウ素）

金色のブロッキー単結晶、完璧な結晶

特徴：金色のブロッキー単結晶、完璧な結晶、高い強度と優れた熱安定性を備えます。用途：高温研削プロセスで優れた研削効率と使用寿命が発揮でき、特に、電着ボンド用途に最適します。また、メタルボンド用途にも幅広く応用されます。 PS：CBNシリーズはチタン、ニッケル（60wt%)、銅(50wt%)等コ...

メーカー・取り扱い企業：鄭州多磨超硬材料有限公司(ZZDM SUPERABRASIVES CO.,LTD)
ポリッシングパッド『LPシリーズ』【超精密表面仕上げに！】

超精密表面仕上げが必要とされる研磨プロセスに適したポリッシングパッド！

ユニークなマイクロセル発砲エラストマー構造シリーズポリウレタンポリッシングバッド『LPシリーズ』は、超精密表面仕上げが必要とされる研磨プロセスに対応するために設計されました。他のほとんどのパッド材料より長いライフサイクルを実現。また、安定したバッチ間の研磨平坦性と仕上がりを実現します。シート、ディスク、リング、ブロック、プラグ等お客様の...

メーカー・取り扱い企業：ユニヴァーサルフォトニクスファーイーストインク
分散性・耐摩耗性のあるダイヤモンドパウダー（Micron）

精密研磨、微細加工用に！　高品質・高強度のダイヤモンド原料の工業用ダイ…

お客様に合った研磨材と、研磨プロセスをご堤案します！　【ダイヤモンドパウダー種類】 ◎メッシュサイズダイヤモンドパウダー　SCDZ　/　SCDA　/　SCDB ◎単結晶ミクロンサイズ　SCMD-WD　/　SC...
メーカー・取り扱い企業：昌弘貿易株式会社関西営業本部
単結晶ダイヤモンドパウダー【世界最高品質の分級管理技術】

高精度な表面精度が求められる各種材料の研磨において幅広く利用！

高峰のダイヤモンドマイクロナイザーを自負するピュアオン（旧名：マイクロディアマント）が提供するダイヤモンドパウダーです。多結晶ダイヤの自社合成と、世界トップクラスの精密分級技術により、高品質の研磨プロセスをご提供いたします。【ピュアオンのダイヤモンドパウダー　その他のラインアップ】・『DP』：合成多結晶ダイヤモンドパウダー・精密サイズレンジ・『FG』：合成多結晶ダイヤモンドパウダー...
メーカー・取り扱い企業：ピュアオンジャパン株式会社
PFERD　軸付砥石総合カタログ[フェアード社製]

フェアード社の軸付砥石は厳密なクオリティコントロールのもとに製造される…

製品の研究開発だけでなく、製造のためのプラント開発まで自社で行い、高品質な工具を製造するためのプロセスのアップデートを絶えず行っています。 [最適な工具の選び方] フェアードはお客様の用途に合うよう豊富な研磨材、粒度、硬さや形状の種類の製品を非常に幅広くご用意しています。最新の製造設備で製...
メーカー・取り扱い企業： DKSHマーケットエクスパンションサービスジャパン株式会社テクノロジー事業部門
CMPスラリー『ClasSiC/GaiNシリーズ』

砥粒技術＋ケミカル配合技術により設計！ハイレートかつ面品質/面品位を両…

「ClasSiC」は、特にパワーデバイスに使用されるSiC基板の化学機械的平坦化用に特別に配合されたハイレートスラリーです。「GaiN」は、ナノアルミナ砥粒、ケミカル配合技術で研磨プロセスを最適化するために特別に設計されており、研磨レートと平坦化性能を大幅に向上させます。【特長】 ■コロイダルシリカベースのCMPよりハイレートを実現 ■研磨時間の短縮が可能 ■...

メーカー・取り扱い企業：日本ピストンリング株式会社
コンポジット特殊パッド『IRINO』：今ある研磨機を高性能化

SiCやサファイアなどに高い研磨レートと優れた面仕上がりを実現！

※現在開発中の製品です。 IRINO-PRO-Cは、ラッピング加工(金属定盤)とポリッシング加工(研磨パッド)の工程間ギャップを埋めることが可能な新しい研磨プロセスです。銅と樹脂の複合材料にて構成されており、用途に合わせてピュアオンの専用ダイヤモンドスラリーを組み合わせる事で優れた研磨レートと平坦性を両立します。特にSiC・セラミック・サファイア等の...
メーカー・取り扱い企業：ピュアオンジャパン株式会社
単結晶ダイヤモンドパウダー『MSY』：合成・超精密分級

超タイトな分級によりロット間のばらつきのない製品開発に貢献！合成単結晶…

ダイヤモンドパウダー『MSY』は、合成単結晶ダイヤモンドパウダーを精密サイズレンジにてご提供します。特殊な形状調整プロセスを施すことによって、均一でブロッキーな形状を確保し、一般的な合成単結晶ダイヤモンドパウダーに比べて、10 %程度高い性能指数を発揮します。ラッピング用の遊離砥粒もしくは研削工具の固定砥粒として広く...
メーカー・取り扱い企業：ピュアオンジャパン株式会社
HAPD / HSPD 爆轟多結晶ダイヤモンド　スラリー

サイズはサブミクロンから1 0μmまであります。シリコンチップ、光学デ…

ンドのように割れません。そのため、表面下での変形がありません。 ◉高性能なラッピングやポリッシングに最適 ◉粒度分布を厳密に制御し、オーバーサイズの粒子を発生させない ◉安定したスラリーでプロセスの安定性を向上 ◉すべての成分が環境にやさしく、廃棄コストを削減できる ◉ラッピング/ポリッシング後の洗浄が容易 ◉Qual Diamondの革新的な処方は、-20°Cから50°Cの環境を維...

メーカー・取り扱い企業：オプティカニクス株式会社本社
HAM/HSM 高圧高温単結晶ダイヤモンド　スラリー

高圧高温単結晶ダイヤモンドスラリーは、水性製剤です。水性液に高圧高温単…

グの用途に広く使用されています。 ◉高純度(99-99.5%)の厳選されたダイヤモンドが、効率と生産性を向上させます。 ◉厳密に制御された粒度分布とオーバーサイズの粒子 ◉安定したスラリーでプロセスの安定性を向上 ◉すべての成分が環境にやさしく、廃棄コストの削減につながる ◉ラッピング/ポリッシング後の洗浄が容易 ◉Qual Diamondの革新的な処方は、-20°Cから50°Cの環...

メーカー・取り扱い企業：オプティカニクス株式会社本社
HAPH/HSPH 高圧高温多結晶ダイヤモンドスラリー

Qual Diamond社の「高圧高温多結晶ダイヤモンドスラリー」は、…

定しているため、均一な表面仕上げが可能 ◉優れた破砕性により、粒子が容易に分解され、新しいシャープな刃先が現れる ◉粒度分布を厳密に制御し、オーバーサイズの粒子を排除 ◉安定したスラリーでプロセスの安定性を向上 ◉99%の生分解性材料を採用し、廃棄やリサイクルのコストを大幅に削減可能 ◉ラッピング/ポリッシング後の洗浄が容易 ◉Qual Diamondの革新的な処方は、-20°Cか...

メーカー・取り扱い企業：オプティカニクス株式会社本社
QMR ラウンドモノマイクロダイヤモンドパウダー

独自の表面処理を施したラウンドモノマイクロパウダーです。球状のQM…

の切削深さが浅くなり、高精度の加工につながります。一方、ダイヤモンドの表面にある多数の小さな刃先により、切削効率が向上します。当社のラウンドマイクロダイヤモンドパウダーは、高度な選別および表面改質プロセスにより、均一なサイズ、高純度のダイヤモンド粒子で構成されています。比較的均一な形状により、研削用途で使用した場合に高い材料除去率が得られます。石英、セラミック、光学、半導体、高度な複合材料など、さ...

メーカー・取り扱い企業：オプティカニクス株式会社本社
QPD/QPH ポリマイクロダイヤモンド　パウダー

QPD とQPH はポリマイクロダイヤモンドパウダーで、QPD は爆発…

、半導体材料、先端複合材料、光学ガラス、およびその他の高度な材料を、凝集や表面変形なしに処理する際に優れた性能を発揮します。当社のポリマイクロダイヤモンドパウダーは、高度な選別および表面改質プロセスにより、均一なサイズ、高純度のダイヤモンド粒子で構成されています。...

メーカー・取り扱い企業：オプティカニクス株式会社本社
ダイヤモンド　パウダー　研磨剤

マイクロダイヤモンドパウダーは、高度な選別および表面改質プロセスにより…

均一な形状により、研削用途で使用した場合に高い材料除去率が得られます。石英、セラミック、光学、半導体、高度な複合材料など、さまざまな用途でのラッピングや研磨に便利です。さまざまな特性や用途に応じて、QPD、QPH、QMM、QMRの4種類に分類します。...製品の機能と利点 Qual Diamondの精密処理により、マイクロパウダーに最高の純度がもたらされます。 ◉独自の表面改質により凝集しない...

メーカー・取り扱い企業：オプティカニクス株式会社本社
独立発泡ウレタンパッド

デバイスウェーハのCMPプロセスにおける業界標準品

当社では、デバイスCMPにおける業界標準のウレタンパッドを取り扱っております。特殊ポリウレタン材料をベースに、高均一な微小発泡を持つユニークな構造はスラリーをうまく保持しながら、被加工物へ均等に行き渡らせ、優れた加工均一性を発揮します。また、高い段差緩和性能と低スクラッチ性能も実現します。【ラインアップ】 ■各種基板の高平坦化に好適　・IC1000(TM)...

メーカー・取り扱い企業：アンカーテクノ株式会社
半固定砥粒研磨パッド『LHAパッド(R)』

砥粒入り研磨液が不要！従来品の3倍以上の寿命、強酸～強アルカリの広い使…

【その他の特長】 ■従来品の3倍以上の寿命 ■強酸～強アルカリの広い使用範囲 ■砥粒入り研磨液が不要 ■低コスト、プロセス容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ノリタケカンパニーリミテド開発技術本部　研究開発センター
不織布パッド『Suba(TM)』

様々な用途にバランスよく対応する不織布ベースの研磨パッド

研磨パッドです。主に、シリコンウェーハやサファイアウェーハ、酸化物ウェーハなどの一次研磨・二次研磨用として優れた性能を発揮します。また、エッジ研磨やノッチ研磨にも使用可能で、それぞれのプロセスに応じた幅広い製品ラインナップを持っております。【特長】 ■高研磨レート ■低欠陥性 ■高平坦性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ニッタ・デュポン株式会社
発泡ポリウレタンパッド『IC1000(TM)』

CMPプロセスにおける研磨用パッドのディファクトスタンダード。世界シェ…

これまでに数多くの採用実績があり、今もなお高いシェアを維持しています。 IC1000(TM)は、特殊な材料・製造・加工技術、そして高いアプリケーション・評価技術をベースにデザインされていますので、最適なパフォーマンスをお届けします。...特殊ポリウレタン材料をベースに、均一な微小発泡を持つそのユニークな構造はスラリーの保持性を向上させ、さらにパッド表面溝加工を施すことにより、スラリーをウェーハ全...

メーカー・取り扱い企業：ニッタ・デュポン株式会社
多結晶ダイヤモンドスラリー

多結晶ダイヤモンドスラリー

GRISHダイヤモンドスラリーは、高品質のダイヤモンド粒子と分散剤で構成し、多様な研磨プロセスに適応しています。セラミックや、超硬金属を高精度にかつ効率よく研磨します。お客様のご要望に合わせるオリジナルのダイヤモンドスラリーを製造致します。粒度(μm)　　油ベース　　　　水ベース...

メーカー・取り扱い企業：北京国瑞升科技股份有限公司
断面観察用試料作製機器総合カタログ

メンテナンス性の良さにも定評あり！試料作製に必要な機器を多数掲載

「レジノイド切断砥石」、樹脂埋込用機器「MECAPRESS 3」などをラインアップしております。【掲載内容】 ■切断 ■切断消耗品 ■樹脂埋め ■研磨 ■研磨消耗品 ■研磨プロセス　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：北川グレステック株式会社本社
AIRYTECH 研磨粉末薄加工向け

薄加工向け

特徴この製品は、切削力が強く、均一な粒子分布で、長寿命、懸濁性がよい及び洗浄やすい特徴を持て製品です。アプリケーション TFT - LCD液晶ディスプレイガラスの薄加工プロセス。 ...

メーカー・取り扱い企業：愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
多結晶ダイヤモンドパウダー【世界最高品質の分級管理技術】

高精度な表面精度が求められる各種材料の研磨において幅広く利用！

高峰のダイヤモンドマイクロナイザーを自負するピュアオン（旧名：マイクロディアマント）が提供するダイヤモンドパウダーです。多結晶ダイヤの自社合成と、世界トップクラスの精密分級技術により、高品質の研磨プロセスをご提供いたします。【ピュアオンのダイヤモンドパウダー　ラインアップ】・『MSY』：合成単結晶ダイヤモンドパウダー・精密サイズレンジ・『NAT』：天然単結晶ダイヤモンドパウダー・精...
メーカー・取り扱い企業：ピュアオンジャパン株式会社
ダイヤモンドスラリー『SPW』：スタンダード水性スラリー

ダイヤモンドタイプ、粒子サイズ、濃度などお客様のご要望に応じて調合する…

『タイプSPW』は、メタルのラップ盤や研磨パッドでの使用に適した水性ダイヤモンドスラリーです。取扱いや洗浄を簡素化する水性タイプであり、表面仕上げで妥協することなく高い研磨レートを実現します。ダイヤモンド粒子の凝結を防止する高分散処方により、工程の安定性も高められています。（非分散タイプもございます）【特長】 ■取扱いや洗浄を簡素化する水性タイプ ■表面仕上げで妥協することなく...

メーカー・取り扱い企業：ピュアオンジャパン株式会社
SiCの研削加工事例

SiCの両面研削を実現！両面研削加工

今後の市場拡大が予想されるSiC(シリコンカーバイド)、 GaN(ガリウムナイトラ)などのパワーデバイスにおいて、コスト削減は重要な課題です。その中でも、従来の加工プロセスと異る方法でコスト削減を実現した加工事例をご紹介いたします。【研磨結果】 ■表面粗さ＜0.5nm (後工程CMP) ■TTV＜2μm/Warp＜10μm ■高速圧研磨装置『EJD...

メーカー・取り扱い企業：日本エンギス株式会社
QMM モノマイクロ　ダイヤモンド　パウダー

高圧高温合成法で作られたモノマイクロパウダーで、硬度と結晶構造の特徴か…

モノマイクロダイヤモンドパウダーは、高度な選別および表面改質プロセスにより、均一なサイズ、高純度のダイヤモンド粒子で構成されています。比較的均一な形状により、研削用途で使用した場合に高い材料除去率が得られます。石英、セラミック、光学、半導体、高度な複合材料など、さ...

メーカー・取り扱い企業：オプティカニクス株式会社本社