材料・アクセサリー　スーパーコン社製 超電導線 NbTi超電導線

PR各研究機関や開発、製造分野に様々な種類の超伝導線材を供給しています。

スーパーコン社は長年にわたって超伝導線材を製造しております。各研究機関や開発、製造分野に様々な種類の超伝導線材を供給しております。 NbTi超伝導線材のマルチフィラメント 56S53・54S43・54S33・42S25・30S18は、DCマグネット用の一般的な線材。NMR用マグネットに多く使用されています。 モノフィラメントは、電流密度が非常に安定した線材です。 【ラインアップ】 ○NbTi 超...

メーカー・取り扱い企業： ブルーフォース株式会社

BACnet BTL認証　I/Oモジュール

PRBACnetモジュール　BTL認証

BACnetモジュール　BTL認証品、ルータ2種類、入力11種類、出力11種類、混合マルチ12種類の合計36種類の豊富なモジュールを用意しております。　防水仕様もあり、各種機器に特化した最適なモジュールを開発しております。...アナログ入力、アナログ出力、デジタル入力、デジタル出力、温度センサー入力、パルス入力、入出力混合モジュール、ルータ各種 全てBTL 認証...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンスコネクト

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷却等）で幅広い用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』を ご紹介します。 超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装置を...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

表面改質処理『コロナ処理・プラズマ処理』

印刷・接着・コーディングに大活躍！様々な分野のものづくり、研究に

【ラインアップ】 ■コロナ処理装置「マルチダイン」 ■プラズマ処理「プラズマダイン」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

MAGNION、FLARION、EVADシリーズ

シングル・マルチカソード対応！グローブボックスとのインテグレーションも…

『MAGNION、FLARION、EVADシリーズ』は、卓上薄膜蒸着及び プラズマ装置です。 マグネトロンスパッタPVD装置は、シングル・マルチカソード対応。 熱蒸着装置は、有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・ セル(K-セル)で、グローブボックスとのインテグレーションも可能です。 【特長】 ■マグネトロンスパッタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

【仕様】 ■ハード構成：ロードロック式　ロードロック室　エッチング室各１室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ８インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■基板材質：Si、ガラス、化合物半導体基板（GaAS、サファイア）等 ■エッチング対象：各膜種 Al系...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

８インチ対応の枚葉式プラズマアッシング装置。 高密度表面波プラズマ源装備アッシング室２室装備。枚葉式ロードロック室１室装備。マルチチャンバタイプ。 コンパクトな設置寸法でハイスループットを実現。豊富なオプション類（ＲＩＥ室・ＩＣＰ室・加熱・冷却室・追加ガス系）による通常のアッシング岳でなく。マルチステップアッシング・各種有...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

横型タイプを採用し、小さな設置面積で大きな処理量を実現。 電極の形成も密着層・接合電極も同一真空槽で一括形成。成膜前に効果的なプラズマクリーニングも同一バッチで実施。シンプルな装置構成で多層・マルチステップ処理を実現。 部品寸法・形状に合わせ治具や基板保持方法の細かく対応。信頼性の高い基本ハードとカスタマイズで多様な基板と生産ラインに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。 次世代デバイスの開発（強誘電体膜開発、配向...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

難接着材料でも接着力UP『Openair-Plasma(R)』

『Openair-Plasma(R)』は高速で、オゾンレスの表面処理技…

ェネレーターFG5001Sの特徴： ●　複合材、CFRP、汎用プラスチック、金属など様々な材料に対応 ●　表面洗浄と活性化を同時に処理 ●　表面処理プロセスを自動化に ●　コンパクトなのにマルチノズルに対応 ●　タッチパネル操作で見える化を実現 ●　制御システムによりプロセスを管理 ●　プロセスデータを外部出力可能 ●　オゾンレスで生産ラインに組込が容易 ●　条件に合わせて処理...

メーカー・取り扱い企業： 日本プラズマトリート株式会社