メンテナンスフリーリニアベアリング『オザックMFシリーズ』

PRメンテナンスなしで寿命3.7倍！グリース補充不要でメンテナンスコスト軽…

『オザックMFシリーズ』は、グリース漏れ対策不要で クリーンな環境を実現したメンテナンスフリーリニアベアリングです。 シールド三重構造により異物混入防止対策。 また、全周にわたって特殊シールがあり、 防塵・油分供給に優れています。 【特長】 ■高信頼性 ■無給油 ■防錆 ■密封性 ■静かな走行音 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： テックトレーディング株式会社

ARO社 ダイアフラムポンプ FDA準拠(サニタリー)ポンプ

PR【医薬品・食品業界に！】 衛生性（サニタリー）が重要視される現場で活…

信頼性と効率を追求したSUS316L製のARO社ダイアフラムポンプは、 衛生性が重要視される医薬品・食品業界で安心してご利用いただけます。 クイックノックダウン(QKD)クランプシステムを特徴としており、 クリーニング、保守メンテナンスが容易で、高い信頼性と長い製品寿命を提供します。 最小限の時間で洗浄やメンテナンスが可能となり、作業時間の短縮にも貢献します。 【用途例】 ...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

保守・メンテナンスサービス

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

各種電子デバイス製造装置の保守・メンテナンスを行っております。 24h体制の常駐対応からスポットの定期点検まで、ニーズに合わせて対応致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

エミネントシリーズ第三世代エッチング装置『エミネント2』

高いメンテナンス性！エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチン…

ネント」の後継機です。 スプレー形状、流量改善等による基板上下両面の均一性が、 35％以上改善されました。 また、新型ホイールを採用し、コア材40μm基板の量産搬送対応を確立。 メンテナンス性も大幅に向上しました。 【特長】 ■エッチング均一性向上 ■薄物搬送性向上 ■メンテナンス性の大幅向上 ■パターン精度向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： 東京化工機株式会社 本社・長野工場

FPCエッチング装置

当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置！回収部分は作業者がアクセスし…

e Printed Circuits）をRtoR方式で 連続エッチングする製品です。 レジスト種類に問わず剥離カスを連続回収。回収部分は作業者が アクセスしやすい構造にしていますので、メンテナンスが容易です。 当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置により、製品の配線パターンに 問わず好適なエッチングバランスを実現。薬液管理タンク内部のエッチング液の 状態（濃度、温度、比重等）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ■エッチング装置のメンテナンスサイクルが大幅に改善 ■溶射、エアロゾル蒸着、イオンプレーティングによる成膜より 　耐プラズマ性・耐食性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

試作エッチング装置

様々な条件に対応！搬送方向に対するノズルの配列も千鳥状に並べているため…

『試作エッチング装置』は、曲線を描いたガルウィング式の蓋を採用した 製品です。 目的は2点あり、開口面積が広くメンテナンス性に優れている、中蓋が 折り返し式で尚且つ内側に畳込むように収納できる為、内蓋に付着した 薬液が装置外に漏れる可能性が少ないという点にあります。 また、スクエア状であったオシレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

ITOガラスエッチング剥離装置

簡易な槽内洗浄が可能！装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れていま…

O（透明導電性膜）を エッチングする製品です。 駆動部の簡易洗浄ノズル管により、駆動ギアの結晶防止機能を持たせており、 薬液槽内にも洗浄スプレーを設けることで簡易な槽内洗浄が可能。 メンテナンス性が向上します。 また、装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れることで、 搬送性能を高めています。 【特長】 ■ガラス基材表面のITO（透明導電性膜）をエッチング ■メンテ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

間欠供給薬液恒温装置

間欠供給薬液恒温装置

液を供給可能！ 【特徴】 ○簡単に安定した温度調節が可能 ○小型だから場所をとらない ○装置への組み込みが簡単 ○接液部スーパーPFA、仕様薬品を高純度に保つ ○可動部分がなく、メンテナンスフリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

イオンビームミリング・エッチング装置-伯東/エヌエス

Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチ…

ビームミリング装置の開発を行っており、イオンソース・電源・ステージ・周辺機器・GUIまで自社内で設計・製品化しておりますので、お客様のご要望に応じてカスタマイズが可能です。また製品導入後の修理・メンテナンス等についても、弊社に在籍する技術者が対応させていただきます。実際に装置の性能をご覧いただくため、製品説明会・デモを随時実施しております（基本無料、オンライン対応可）。お気軽にご依頼下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテ…

事により、生産中止バルブ等にも対応。 ・ベローズ内製による交換。 ・アクチュエーターシャフトの修理及び新規製作。 ・各部材のアルマイト処理等の膜厚変更等。 【　信　頼　性　】 充実したメンテナンス設備 ・動作確認用コントローラー所有。 ・アクチュエーター単品でも動作テストを実施。 ・リークチェック用各種フランジを所有。...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

階として誘電体窓にY2O3（酸化イットリウム）やYOF（酸フッ化イットリウム）を再生成膜することでRF window（誘電体窓・天板）交換の費用（純正部品購入より再生で大幅にコスト削減！）や装置メンテナンスに伴うダウンタイムを大幅に抑えて装置稼働時間を上げることができます。 誘電体窓やビューポート、EPDへの成膜以外にフォーカスリングやチャンバー側面等の構造物への成膜も順次対応していきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【基礎知識】表面処理コーティングとは？

表面処理とは、基材表面に加工を施し、基材そのものにはない様々な特性を付…

法です。 硬さや耐摩耗性、潤滑性、耐食性、耐熱性、絶縁性などをこれらの性質のいくつかを向上させることを目的としています。 【コーティングのメリット】 ■稼働率向上 ■生産性向上 ■メンテナンスフリー ■コスト削減 ■品質向上 ※詳しくはPDF資料をダウンロード頂くかお気軽にお問合せください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

まり向上と装置稼働時間のアップは半導体製造業者にとって至上命題といえます。最先端の製造ラインに導入された、イオンアシスト蒸着法による保護膜は、ドライエッチング装置部品の保護膜として、また、定期的メンテナンスにおける再生としてご利用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

現像・エッチング・剥離装置

設置場所に合わせて各チャンバーやポンプのレイアウトを設計致します

ダによって ドライフィルムを剥離。 この時、ドライフィルムは膨潤剥離型のフィルムとし、剥離片の回収装置が ついています。これは剥離液の全量濾過を行うものとします。 【特長】 ■メンテナンス性を重視 ■使いやすい設計 ■設置場所に合わせて各チャンバーやポンプのレイアウトを設計可能 ■すべてオーダーメイドにて設計・製作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファイコーポレーション

ふっ素樹脂熱交換器　フロロエックス（潤工社製）

いろんな溶液を温めたり・保温するのに最適！テフロン製の熱交換器ならそん…

とんどの化学薬品に耐えられます ４、非粘着性でスケールやスラッジが付きにくく、たとえ付いても簡単に落とせます。 ５、単位体積あたりの伝熱面積が大きいため、コンパクトな設置が可能。小型・軽量でメンテナンスも簡単。 ６、国産製より高信頼性・高精度・短納期・低価格を実現...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

『塩化第二鉄溶液電解再生システム』

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

す。 特殊電極の採用により処理能力が向上。さらに、電解槽の増減により あらゆるエッチング操作に最適なシステムで対応可能です。 また、自動制御を行うことにより、運転中の煩わしい操作やメンテナンスは 不要になり、無人運転を可能にします。 【特長】 ■安全・クリーン&高効率 ■高能力&フレキシブル ■簡単操作&優れた経済性 ■完全自動化 ※詳しくはPDFをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社長井製薬所