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VPGシリーズに300x300mm角基板まで対応した高速描画装置が加わ…
・高精細・高速描画 ・最大描画領域 300x300mm2 ...最小寸法0.5um、Line Space 0.8umまで描画可能。 選択できるWrite Mode(最小寸法0.5um または0.8um) 高出力DPSSレーザー 最大描画面積 300x300mm2 リアルタイムオートフォーカス オートローダー 基板検出機能 裏面アライメント機能 Zerodur採用 高精度微分干...
メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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