安全柵　『SATECH』 【低コスト＆スピード施工！】

PRJIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵を…

SATECHでは、ISO140001に準拠し、ISO13857に配慮した、多様な『安全柵』を取り揃えています。 ロボット・自動車・マテハン・工作機械・食品・製鉄他、各業界向けの安全フェンスとして使用可能です。 【SATECHの強み】 1.ISO/JIS規格に適合 2. 施工性 3. 低コスト 4.充実した製品ポートフォリオ 5. ISO14001・ISO9001認証取得済の本社工場で生産 【各...

メーカー・取り扱い企業： SATECH株式会社

冷却水配管用ワンタッチ継手『タッチコネクターFUJI　Vタイプ』

PR外装は全て金属パーツの冷却水配管用ワンタッチ継手。金型交換の際の破損リ…

『タッチコネクターFUJI Vタイプ』は外装は全て金属パーツの 冷却水配管用ワンタッチ継手です。 金型交換の際、ぶつけて割れるなどの破損リスクを軽減します。 パッキンはフッ素ゴム製で耐熱性に優れ、耐食性にも優れています。 また、特殊ロックリングは継手内で回転するため、チューブの回し切れの心配もありません。 【特長】 ■外装は全て金属パーツで破損リスクを軽減 ■高耐熱性・高...

メーカー・取り扱い企業： 千代田通商株式会社

ロック機構付き首振り吸着パッド『フリーロックパッド』

吸着パッドの「革命児」。ワークを取った角度、位置を固定して“そのまま搬…

吸着パッドがワークに接面する時にワークの面傾斜に倣い、搬送時にその角度がロックされるので多種形状のワークを一つのハンドリングで対応できます。バッファ搭載モデルはワークの高さ方向に対しても吸着時の高さをロック可能ですので取り出し時の衝撃を最小限にすることが可能となりワークの脱...

メーカー・取り扱い企業： ヒロタカ精機株式会社

多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速…

【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル 　ロードロッ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

耐熱204℃カプラと真空バッグコネクタ　オートクレーブ・乾燥炉用

特殊シールで200℃を超える仕様の耐熱カプラ　VC200(オスメスセッ…

接続は非常に簡単で、メス側のバネ式外輪を引き戻し、カップリングを押し込むだけです。 メス側の外輪を引き、カップリングを押し込むと、リングが元の位置に戻り、カップリングがロックされます。 リングを所定の位置に戻し、カップリングをロックします。カップリングを分離するには、リングを引くと、カップリングはスプリングで分離されます。 クイックリリース真空カップリングVC20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トミタ

直線回転導入機『MD16／MD40／MDG40』

MD16/MD40シングルシャフト・MDG40デュアルシャフト直線回転…

に大気側から 直線運動と回転運動を伝達するトランスファーアームとして使用できる 磁気駆動の直線回転導入機です。 特定の直線位置に設定できる調整可能なストップリングと アクチュエーターをロックするための止めネジが搭載されています。 【特長】 ■シングルシャフト直線回転導入機 　・ロードロックからメインチャンバーへのサンプル移送に好適 　・サンプルキャリア又はサンプルストレー...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

【資料】真空集中排気システム『VIE-system』

真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの…

現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度　800L/min ■水蒸気処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

真空プローバーシステム『SB-MCPSシリーズ』

極低温から高温までの温度を選択可能な真空プローバーシステム！

【各種オプション等】 ■マニピュレーター追加 ■温調器ユニット ■ロードロック機構 ■ロードロック機構+サンプル搬送BOX ■バイアス測定ユニット ■高周波測定ユニット ■低ノイズオプション(+1pA 以下) ■側面モニターユニット(CCD＆モニター付) ■ソフ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルブロック

KCS 協働ロボット用グリッパー

協働ロボット用に最適化した真空グリッパー

レイシステムを実現します。 ダウンタイム削減：迅速なグリッパー交換が可能 グリッパーは工具を使わずに簡単に交換することができます。これにより、再調整時のダウンタイム削減に貢献します。確実にロックして安全性を高めるために金属製のネジが備えられています。...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

水密・気密ファスナー　PROSEAL(R)

気密性保持を必要とする幅広い分野で高い評価を受けているファスナーです。

PROSEAL（R）は、気密性保持を必要とするエアーロックなど、幅広い分野で 高い評価を受けている水密・気密ファスナーです。 宇宙服をはじめ、化学防護服、ダイビングスーツ、サバイバルスーツ等の 防護服類の他、液体輸送用タンクなどに使用されていま...

メーカー・取り扱い企業： YKK株式会社 ジャパンカンパニー

角型ベローズ　RBL60×60

特別な四角型のベローズカップです。小荷物のハンドリングおよびレイヤー全…

、弾性記憶に優れます。 ・DURAFLEX製サクションカップは、ゴムの弾性とポリウレタンの優れた耐摩耗性を兼ね備えた特殊材料から製造されています。 ・長方型カップの位置決めが簡単にできるよう、ロック操作の前のスイベルフィッティングオプションが利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

特長 1. 開および閉位置での機械的なロックです 2. パーティクル発生が少ない 3. 金属と金属が擦れないため、Oリングで摩擦がほとんど起きません 4. 可動部品がありません ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

チャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミット...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

熱電対コネクタ（中継型）

温度測定に必要なコネクタをご提案いたします。

電対コネクタ 形状：中継型 極数：１対（２Ｐ） 種類：Ｋ、Ｔ、Ｅ 耐熱温度：１８０℃、６００℃（※1） 絶縁物：ＰＴＦＥ，ＰＥＥＫ、ＡＬなど 挿抜回数：約５００回（使用条件による） ロック：有り（ラッチ式） その他：２対（４Ｐ）～５対（１０Ｐ）まで対応可 補足※１：特注対応になります。詳細はお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

移動式真空装置『MDV-RA63-100』

省スペース・低コスト・カスタマイズ可能！使い勝手抜群でお客様の要望に対…

空状態に近づける ことでピンホール、ブローホール、巣などの鋳造欠陥を低減。高品質な ダイカスト製品を鋳造可能です。 また、汎用性の高い設計により圧送ポンプ自動復帰回路、マシンインター ロック、凍結防止ヒーター、指定色塗装、海外輸出仕様等、よりユーザーの 求められる性能にお応えする事ができます。 【特長】 ■不良率の低減 ■省スペース・移動式 ■カスタマイズ可能 ■お客...

メーカー・取り扱い企業： 真岐興業株式会社

*ロータリーポンプPascalシリーズ ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

、凍結乾燥、溶剤排気などの用途 C2シリーズ：腐食性用途 •イオン注入、スパッタリング装置などの用途 HWシリーズ: ウェットガス用途 •凍結乾燥、真空乾燥、化学研究、滅菌、ロードロックなど...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

【計測サービス事業】評価形表面粗さ測定器／ミツトヨ

最短半日見積り／評価形表面粗さ測定器／ミツトヨ／SV-3200S4

、ワンショット3D形状測定 VR-6200、画像寸法測定器 IM-8000・LM-1100、真円度・円筒形状測定機 RA-2200AS、評価型表面粗さ測定機 SV-3200S193、成分分析装置、ロックウェル硬さ試験機等 単品加工から量産品まで、幅広く承っております。　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【オーダーメイド製作実績】各種真空装置

デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保…

作実績】 ■排ガス切替装置 ■フィルム巾390mm対応R to Rプラズマ処理装置 ■低温グロープラズマ実験装置 ■HW式表面改質装置（CAT） ■排気セット（TMP+RP） ■ロードロック室プラズマCVD装置（当社デモ機） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社