乾燥装置 | イプロスものづくり

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【高速熱風で均一処理・短期乾燥】PN-JET乾燥機『熱処理装置』

PR【乾燥ムラ削減】500mm～5,000mmの幅に対応！平面ボード等の均…

PN-JET乾燥機『熱処理装置』は、多列パイプノズルから”高速熱風”を吐出する熱風循環乾燥・熱処理装置です。コンベヤーでワークが搬送されながら平面形状のボード・フィルム・シート等を乾燥・熱処理することができます。ノズルから吐出される風速は均一で、乾燥ムラが出にくい配列となっており、装置内部は若干のマイナス圧に保たれる為、熱効率の高い装置となっています。熱源はガス・灯油バ...
メーカー・取り扱い企業： J-one（株式会社アドペック/ヤマシン技研株式会社）
1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室
IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。【特徴】　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 　・ウォーターマークフリー　・各種洗浄機に組み込み・ドッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装…

マスクに付着した1μm以上のパーティクルを除去する簡易型のマスク洗浄装置。 2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄とリンスを行い、2槽目ではホット純水乾燥を行う簡易型のマスク洗浄装置です 1層目のスクラブ洗浄において、専用薬液による洗浄もオプションとして提供しております。専用薬液を使用すると、レジスト残渣を除去することも可能になります。...■主な特長・ワーク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社
IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず、高純度のIPA…

特徴 ●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。 ●実績が示す万全の安全対策 ●オールステンレスにより破損の危険性を排除 ●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減 ●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です。...装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥乾燥対象：６インチ　１カセット相当　　　　　シリコン、ガラス、部品等槽構成...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

力（毛細管力・表面張力）で構造が変形する問題が発生しています。 ◆変形原因である毛細管力・表面張力は液体と気体のような異相間で発生する力であり、同一相では発生しません。 ◆超臨界洗浄・乾燥装置は、毛細管力・表面張力を発生しないシステムにより、微細構造物を変形させずに洗浄・乾燥を行うことができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レクザム香川工場
光学レンズ・ガラス基板の水洗浄と溶剤による乾燥システム

HFE/HFC溶剤による乾燥システムは素早く水分を除去し、水染みの発生…

光学レンズ等はアルカリ・酸・中性洗剤により洗浄され、その後、純水リンス工程を経て、HFE/HFC溶剤による乾燥システムに送られて来ます。乾燥システムに大量に持込まれる水は溶剤との比重差で簡単に装置外へと取り出す事が出来ます。洗浄後の水染み発生の原因は乾燥用溶剤中に徐々に溶け込んでいく微量の水分です。この水分を確実に低濃度に保つ事が水染み「０」に繋がるのです。弊社の開発した「水分除去装置（オプション...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社
Siナゲット洗浄装置

Siナゲット洗浄装置　専用バスケットで自動搬送　化学研磨・酸切・高品位…

本装置は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。ワーク（Siナゲット）の入ったコンテナは本装置で専用の洗浄バスケットに移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送されます。その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、１５０℃の温風で予備乾燥されます。 ...＜主な仕...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
ＩＰＡベーパ乾燥装置

ＩＰＡベーパ乾燥装置

光学部品などの洗浄乾燥に使用する洗浄装置です。ＩＰＡの蒸気により洗浄乾燥します、ＩＰＡ専用の泡消火器を備えるなど保安も万全です。また、ワークサイズ、カゴサイズにあわせて設計しますので、現在お使いの洗浄冶具がそのまま使え経済的です。...光学部品などの洗浄乾燥に使用する洗浄装置です。ＩＰＡの蒸気により洗浄乾燥します、ＩＰＡ専用の泡消火器を備えるなど保安も万全です。また、ワークサイズ、カゴサイ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社アイディー技研
フラットパネル・半導体関係の各種装置の設計・製作

大型ガラス基板に対応したFPD用製造装置、各種半導体製造装置のEMSの…

「第10世代以上の大型ガラス基板」に対応した製造装置のEMSによる生産を行っています。さらに、LCDだけでなくPDP、有機EL等の他のFPD用製造装置のEMSも可能です。・塗布装置　・真空乾燥装置 ・露光装置　・搬送装置　・検査装置／その他 ■半導体関連事業幅広い技術力と短納期に対応した生産管理体制および高い信頼性を誇る品質管理体制を構築しており様々な装置開発を行っています...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコー
精密部品洗浄装置（脱脂）

HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置　構成例：洗剤＋…

本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥　用途に合わせ製作致します...＜主な仕様＞ 1.被洗浄物　：　HDD用モーター部品（HUB・ケース等） 2.処理方法　：　専用バスケットによるDip処理 3.処理速度　：　2.5min（2kg×4バスケット） 4.パスライン　：　FL+...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ...装　置　仕　様【洗浄対象】～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください）【槽構成】ローダー（水中も可）→処理槽（...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。コンピュータコントロールによるプログラム設定により、スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の詳細な条件設定並びに、工程の省略、工程フローの変更、工程の保存が任意に出来るプログラム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...【特徴】省スペース、メンテナンス容易高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減両面洗浄可能なメカグリップ機構（特許第3558543) 対応試料サイズ: Ф225以下　ウエ...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラ…

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...装置寸法 Size：　W1３00×D１８00×H2000　（300mm）/　W1100×D1400×H2000　（８インチ）工程　Process：　カセットを手動で設置→扉...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
真空熱処理装置

真空～大気環境でパーティクルレスでの熱処理を実現します。

有機EL等新しいパネル技術関連における真空・熱関連装置の設計、製造、販売を行っています。大気・真空を繰り返す際に発生するパーティクルを対策した幸和独自の技術の真空ホットプレートの提案をいたします。 “目に見えない熱や圧力をコントロール”するために、技術と知識を駆使してお客様のニーズに合わせた装置、設備をトータルでコーディネートいたします。 ...液晶テレビやスマートフォンのディスプレイなど...

メーカー・取り扱い企業：株式会社幸和
HFEベーパー乾燥装置

安全性を十分考慮した製品

ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン
シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ
1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
ハンディタイプＵＶ（紫外線）硬化装置

高出力のUV硬化装置をお手元で、簡単に。樹脂にあわせた３種類の…

ＵＶ硬化は、ランプより放出される紫外線（２５０ｎｍ～４５０ｎｍ）の照射を行う事により、ＵＶ硬化性の樹脂・接着剤・塗料・レジスト等が瞬時に光重合反応をおこし硬化する技術です。　これらのＵＶ硬化技術は、従来の熱乾燥などと比較すると「硬化・乾燥」までに至る時間が圧倒的に短く、溶剤等の使用量が飛躍的に削減される為、「省エネ」「省スペース」「環境面」に於いてその特性を発揮します。...感光剤である紫外線...

メーカー・取り扱い企業：株式会社あすみ技研
【仕上げ洗浄工程】脱脂洗浄装置（コ・ソルベント方式）

《レンズ・プリズム・精密部品洗浄に》洗浄溶剤が常に再生・再利用され、高…

2種類の洗浄溶剤で洗浄と乾燥を行うコ・ソルベント方式。炭化水素系洗浄溶剤（HC溶剤）で洗浄し、HFE/HFC溶剤（リンス溶剤）でリンス・乾燥する洗浄システムです。 HC溶剤中で溶解された汚れはHC真空蒸留機で蒸留再生され装置外へとたされます。リンス溶剤に持ち込まれたHC溶剤は溶剤分離装置を経て、HC溶剤とリンス溶剤は其々の洗浄槽に戻され、再利用されます。【特徴】 ○経済...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社
高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃え...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室
フォトマスク洗浄装置｜PDP・大判フォトマスク用 TW-1000

スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で…

テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TW-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています｡...■主な特長・ワークのスクラブ洗浄・ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社
アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...洗浄ワーク　 ●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ各種ワーク対応（オプション）洗浄水 ●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水対応回転数　　　MAX　3000rpm...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
洗浄装置『ダイレクトパス』　【電子基板のフラックス洗浄】

電子基板、電子部品のフラックス洗浄で実績多数！　狭い隙間の汚れを効率的…

ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。数10μｍの狭ギャップのフリップチップパッケージ、カメラモジュール等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。【特長】 ○洗浄性、乾燥性　特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾...

メーカー・取り扱い企業：荒川化学工業株式会社ファイン・エレクトロニクス事業部
『ME500-2611』　卓上型自動スピン洗浄装置

限られたスペースを有効活用！卓上型自動スピン洗浄機です。

本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。...本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）