スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

ー液晶表示器により、換作は分かり易く簡単 ○ノズル移動経路、重ね塗り回数、薬液圧送量などはプログラムで指定可能 ○スプレー経路の事前確認ができるテスト運転機能付き ○サーボモータは、低振動、低発熱、高精度の「Si-Servo」を使用 ○MEMSデバイスに対応 ○凸凹面への膜厚均一塗布 ○ビア、トレンチ埋め込み塗布 ○特殊仕様も承ります。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック