半導体用発熱体

半導体用発熱体

半導体製造に使われる拡散炉用ヒーター、CVD炉用ヒーターを提供 　...横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての 炉に対して提供が可能です。 またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化 への提案もさせて頂きます。 □■ラインナップ■□ ■ヘビーゲージヒーター（太線） 主に、横型・縦型の拡散プロセスにて用いられるヒーターです。 独自技...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

大面積高輝度高指向性照明装置

大面積高輝度高指向性照明装置

ホロライトはコンパクトなキューブ型筐体からホログラム再生に理想的な低発熱、大面積、高輝度、高指向特性を持つＬＥＤ照明光を発生します。ホロライト背面にあるリアボールの前後移動による照明領域及び拡がり角度の調整、停消費電力による長時間の乾電池駆動、軽量アルミボディの採用に...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

フィルム研磨装置『SP-50型』

バックアップローラーの直径・幅がφ58×50mmのフィルム超仕上げ装置…

『SP-50型』は、目的の表面粗度が標準作業で得られるフィルム超仕上げ 装置です。 砥粒を塗布したロールフィルムを巻取りながら研磨する方式。 常に安定した表面仕上研磨が、被研磨物の寸法精度に影響を与えず行えます。 フィルムの揺動（オシレーション）機構によりクロスハッチ状に研磨、 方向性のない均一な表面仕上げが得られます。 【特長】 ■常に安定した表面仕上が熟練不要の簡単操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

ー液晶表示器により、換作は分かり易く簡単 ○ノズル移動経路、重ね塗り回数、薬液圧送量などはプログラムで指定可能 ○スプレー経路の事前確認ができるテスト運転機能付き ○サーボモータは、低振動、低発熱、高精度の「Si-Servo」を使用 ○MEMSデバイスに対応 ○凸凹面への膜厚均一塗布 ○ビア、トレンチ埋め込み塗布 ○特殊仕様も承ります。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

【用途例】可動ステージ　金属セラミックス複合材料　

軽量高剛性の金属セラミックス複合材料により装置性能が向上します

アルミの軽さで鋳鉄以上の剛性をもつ『金属セラミックス複合材料』 アルミは軽いがたわむ。鉄はたわまないが重い。 そんな設計者の悩みを解決する新材料です。 抜群の比剛性に加え、低熱膨張、高熱伝導の優れた熱特性が可動ステージに好適です。 マウンターや工作機械の高速可動部品にMMCの採用が進んでおります。 重力鋳造、低圧鋳造、ダイカスト製法により多様なニーズに対応します。...【...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

卓上型UV照射装置（上下両面照射タイプ）※デモ機貸出可

上・下両面のUV照射が可能。 手軽に使える廉価版でも、費用対硬化（効…

・低発熱で人体にも優しい省電力ブラッランプ採用 ・ランプ、N２のOn/Ｏｆｆはタイマーと連動 ・冷却ファン（温度連動可変式）内蔵で過熱の心配なし ・インターロック機構、上蓋ヒンジダンパーで安心運用 ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

フィルム研磨装置『SP-100型』

バックアップローラーの直径・幅がφ58×100mmのフィルム超仕上げ装…

『SP-100型』は、目的の表面粗度が標準作業で得られるフィルム超仕上げ 装置です。 砥粒を塗布したロールフィルムを巻取りながら研磨する方式。 常に安定した表面仕上研磨が、被研磨物の寸法精度に影響を与えず行えます。 Ra0.02ミクロンまで、必要な表面粗度に応じたフィルムを選択するだけで、 要求粗度に対応できます。ボディは軽量・コンパクト、着脱も簡単なため 今お手持ちの機器への...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機