セラミック製品　ＥＳＣ（静電チャック）

材料を創設し、いつの日かを創造する

各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。 プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。...【特徴】 ○Zero thermal expansion type ESC 　・高精度　平面度＜100nm(8インチ) 　・ポアフリー化対応 　・高比剛性 　・非磁性 ○Built in He...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NTKセラテック