【内部流路】拡散接合【セラミックス・石英ガラス・純モリブデン】

PR拡散接合により、内部に流路を有する複雑形状が実現可能！石英ガラス、純モ…

拡散接合は材料同士を直接接合させる技術です。 接着剤、ロウ材を使用しないため、不純物による汚染問題が起きません。 また、塑性変形の発生を抑えることもできます。 拡散接合を用いることで、通常の切削加工では実現できない中空構造や、内部流路、真直度の良い深穴を形成可能です。 ヘリウムリークテスターを保有しておりますので、リークテストの実施も可能です。 【拡散接合実績材質】 ・アル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トップ精工

長寿命水殺菌ランプ

PR電源のON/OFFに強い水殺菌ランプ。15,000hの長寿命。

冷陰極の長寿命水殺菌ランプ。 冷陰極ランプは点滅に強く、電源のON/OFFによる寿命の減少がほとんどありません。 CCFLランプのコンパクトな特徴を活かし、石英ガラス管内にランプとインバータを内蔵。１つのアダプターに対し省スペースで複数のランプを連結し点灯することが可能です。 波長：254nm 寿命：15,000h 詳しくはお問い合わせください。...冷陰極蛍光ランプ(CCFL)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社納屋商事

液体ソースプラズマCVD装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…

当製品は、TEOSをはじめ、液体原料ソースを対象とした シリンダーキャビネット付きプラズマCVD装置です。 液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、 内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を 設計開発。 上蓋開閉により基板交換、内部メンテナンスでき、小型でスペース効率の 優れた装置です。 【特長】 ■シリンダ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

ＣＶＤ装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バルブ閉塞の問題が発生しています。当製品は、問題の発生原因の一つとなるポンプ直後（或いはポンプ内部）の配管内部に局所的に高温のＮ２ガスを流してやる事でこれらの問題を軽減し従来のポンプライフを向上させ、装置の安定稼働率を向上させるツールの一つになります。導入も簡単で、既設のＮ２導入口があればそれを...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 　その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能） ○大気圧から締切り運転まで各真空度での...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

直流電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

・負荷短絡時、高速で出力を停止させる内部保護機能付 ・高速立上がり、短パルス幅を実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

高周波RF電源・高効率パルスRF電源

高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐…

【マッチングボックス内蔵高周波電源】 独自の構造により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発しました。 従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックサイズから ハーフラックサイズに収まるサイズにし、徹底したコンパク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部

『事例』分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能とした…

材料容器（キャニスター）に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。 バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 シートとダイヤフラムが交換できるバルブを使用している...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

s,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。 ベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、ＩｎＰウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

す。 【特長】 ■実験用に極端に簡素化して製作 ■マイクロ波導波管を上下できる機構を備えている ■試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換 ■漏洩マイクロ波検出用も付属 ■内部機構は全てコンパクトに設計されており省スペース化を実現 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

比抵抗率計

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

株)ピュアロンジャパン製 比抵抗率計です。 セル本体はケーブルとコネクタ接続方式になっており配管などへの取付作業時にケーブルが邪魔になりません。セル部の構造はボディと外極部とが一体構造になっており内部への液侵入などの心配もございません。トランスミッター部は従来品と比較し小型・軽量化を実現しており、セル部とはコネクタ中継による接続方式になっておりますので任意の場所に容易に取付が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

チャンバー

真空チャンバーを製作いたします

当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作をいたします。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTXシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッ…

を行う際におすすめです。 マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で、半永久的に安定した動作を得られます。 真空中に取り付けられた直線運動及び回転運度を要する機器への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆動部のストッパーを使用することで、任意の距離・角度での位置決めが可能です。 オプションとして、回転止め機構や延長ハンドルを取り付けること...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社