銅の接合・積層、銅とアルミの接合が可能な、青色半導体レーザー溶接

PR銅の溶接に適した波長のレーザー溶接です。２ｍｍ深さの溶接などが可能な国…

「青色半導体レーザー溶接」とは、工業分野で特に銅素材に対して、 高品質溶接が可能となるレーザースペックです。 IRレーザーと異なる波長帯である、450nmの波長を有する レーザー光を青色レーザーと呼びます。銅などの元素において 吸収率が高いレーザー光です。 青色半導体レーザ光の使用で銅や金のような非鉄金属加工のみならず、異なる金属間同士での結合における新たな可能性も見えております...

メーカー・取り扱い企業： 南海モルディ株式会社（旧：南海鋼材株式会社）

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半導体レーザーとは？

光ファイバーセンサー、医療機器、レーザーポインターなどの様々な分野で利…

半導体レーザーとは、半導体の特性を利用してレーザー光を発生させる 装置のことです。 ダイオードレーザーやレーザーダイオードとも呼ばれます。 小型・低消費電力・高効率であるため、光通信やディスクドライブ、 光ファイバーセンサー、医療機器、レーザーポインターなどの 様々な分野で利用されています。 【特長】 ■半導体素子と呼ばれる材料を使用 ■半導体素子は、電気を通すことで、エネル...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

光洗浄とは？

半導体製造プロセスなどに用いられている！環境負荷が低いこともメリットの…

光洗浄は、ドライ洗浄法の一つでレーザー光を用いてガラスやウェハなどの 表面に付着した有機物を除去する技術です。 紫外光は酸素と反応して活性種を生成し、有機物を酸化して気化させます。 そのため有機物汚染に対しては有効ですが、無機物汚染に対しては効果的 ではなく、ウエット洗浄と組み合わせて使用されることが多いです。 また、化学洗浄に比べて環境負荷が低いこともメリットの一つにあげられま...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

リソグラフィとは？

フォトレジストの塗布、露光、現象の3つのステップで構成されます。

リソグラフィとは、半導体製造においてウェハに回路パターンを描く 工程のことです。 この工程は、半導体の性能やコストに大きな影響を与えるため、 常に技術革新が求められています。 現在主流となっているリソグラフィ技術は、「液浸式アーゴンフッ素(ArF) エキシマレーザー」です。 【基本原理】 ■フォトレジストの塗布 ■露光 ■現象 ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

『シリンドリカルレンズ』

UV露光用高精度レンズやビームコリメーション用レンズ等ご希望に応じて対…

『シリンドリカルレンズ』は、半導体露光装置、レーザー加工機、 シネマスコープ等多彩な分野で数多く使われています。 UV露光用高精度レンズからリーズナブルなビームコリメーション用レンズ までご希望に応じて対応します。 シリンドリカル面＋球面など1つの素子に複合した形状も対応可能です。 【特長】 ■多彩な分野で数多く使われる ■1つの素子に複合した形状も対応可能 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

EUVとは？

主に半導体リソグラフィ用途に13.5nmのEUV光源が用いられます！

EUVは、極端紫外光のことで、Extreme Ultravioletの略称です。 主に半導体リソグラフィ用途に13.5nmのEUV光源が用いられ、 従来のArFエキシマレーザー(193nm)に比べより微細なパターンが 描写可能です。 EUVは物質への吸収率が極めて高く透過型の光学系(レンズ)を 使用できないため、反射光学系(ミラー)を用いる必要があります。 【特長】 ■物...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

DUV/UV用オプティクス製品

エキシマレーザ、UV-YAGレーザに対応！DUV/UV用オプティクス製…

当社では、半導体検査、レーザーアニール、微細加工等のアプリケーションに 適した『DUV/UV用オプティクス製品』を取り扱っております。 リソグラフィから高出力加工まで、幅広い用途で高い均一化性能を実現した 「ホモジナイザユニット」や「フライアイ」などをラインアップ。 Å(オングストローム)オーダーの高品位研磨技術で、エキシマレーザや UV-YAGレーザに対応いたします。 【...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社