フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

半導体製造装置用サファイアカスタム品のご提案【技術データ進呈】

PRどんな複雑なサファイア加工依頼にも挑戦します。1個からでもお気軽にお問…

創業77年の老舗サファイア製造メーカーです。 サファイアの大型結晶を自社で育成しているため、1mm以下の微細な製品から 写真のような300mm程度の大型窓の製作も可能です。 設計段階からお客様のご要求に寄り添い、品質的／コスト的に最適なカスタム製品を共に作り上げていくことが得意です。 1個からのお問い合わせも歓迎しておりますので、ご遠慮なくお問い合わせください。 切断、研削、研磨といった基本的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社

【半導体業界向け】金属イオン溶出の無い自動着脱装置

金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ（特許技術）を用いてウェハ洗浄液…

電子材料製造工場で、原料ラインから移動槽間と、移動槽から充填機への間の基板の洗浄液投入作業を自動化しました。 接液部がすべてPTFEの自動着脱コネクタ（カプラ）を開発し、金属イオンの溶出を0にしました。 また、内弁がPTFE一体成形のため洗浄性が非常に高いです。 ※Body部はPVCでの製作も可能です。 半導体業界だけでなく、製薬業界等の強酸（塩酸）ラインで配管の自動切換装置にもご使用...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

電池製造ラインでのオートコネクタ事例：混錬工程

スラリー、粉体などをタンクへ投入、または払出作業を自動化！ コネクタ…

電池製造ラインの混錬工程や、電池材料の製造工程、半導体材料の製造工程などで、粉体やスラリーをタンクやコンテナへ投入したり、配管を接続して払い出す作業があります。 自動着脱装置（オートコネクタ・オートカプラ・オートジョイント）を導入頂く事で、これらの作業を自動化できます。 シリカなどの極小粉体やペレットなどの大きめの粉体でも実績があります。 また、粘度の高い（高粘度）のスラリー液でも実績があり...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部