「ものづくりワールド東京 機械要素技術展」出展のお知らせ

PR2024年06月19日(水)～21日(金)！多彩なアプリケーションを一…

株式会社ジャノメは、東京ビッグサイトで開催される「ものづくりワールド東京 機械要素技術展」に出展いたします。 本展示会では、今秋に発売を予定している卓上ロボットJR4000や、発売中の JR3000(ねじ締め、カメラ搭載塗布、基板分割、タングレス・ インサート自動挿入機)、サーボプレス(JP-5、JP-S2)自動ねじ供給機 JSPシリーズを展示する予定です。 多彩なアプリケーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャノメ

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

卓上型ソーター『SYAR110』

ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置

『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

製品カタログ　搬送機器

超小型で低消費電力！地球環境に優しく、CO2削減につなる製品をラインア…

当カタログは、超小型で低消費電力を実現したクリーン搬送機器の 開発専門集団であるアテル株式会社の製品カタログです。 卓上型クリーン搬送装置から半導体用搬送ロボット、防水対応用ロボット、 真空対応用ロボット、液晶用搬送ロボットなどを豊富に掲載しております。 【掲載製品】 ■卓上型　顕微鏡ローダー 　・SYA...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ダブルアームクリーンロボット『AR2300-220』

低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を…

『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型アライナー『GA2400』

極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…

『GA2400』は、PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する エッジグリップ仕様アライナーです。 ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決めが可能。 極単純構造にすることにより、製造コストを大幅に削減できます。 また、2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上式ウェハ移載装置

6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置を…

当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。 【特長】 ■6.8インチSEMI規格ウェハ対応 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR112』

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステー...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ソーター『SYAR100』

レシピ選択により移載パターンの選択が可能！卓上型8インチウェハ対応ソー…

『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、 パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』

稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボッ…

『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR110』

2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ロー…

『SYAR110』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型アライナー『AA2568』

2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライ…

『AA2568』は、5、6、8インチウェハ対応アライナーです。 ウェハセンタリングはポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持。 スピンドルで吸着、光センサによる位置決めが可能です。 2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め　スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』

8インチタイコウェハ対応！透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装…

『SYAR120』は、卓上型ロボットとアライナ、マクロユニットを組み込んだ 8インチタイコウェハ対応顕微鏡マクロミクロ検査装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、マクロユニットへ搬送し、 表裏面を観察...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社