複雑な形状のシャフト研磨装置「IRF-1000」

PR複雑な形状のシャフトが研磨できる加工技術！

従来のフィルム研磨工法をさまざまな角度から駆使し、円筒物の外周部だけでなく、ワークの輪郭に好適角度でコンタクトローラーを押し当てる事が可能な「ワーク輪郭部追従型」フィルム研磨装置を開発しました。 【特徴】 ○研磨ヘッドをワークの研磨面に好適な角度で押し当てる事が可能 ○2種類のコンタクトローラーをローテーションすることで幅広い研磨加工が可能 ○最大90°まで研磨ヘッドを振ることが出来るため際まで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コバックス

固形物を含む液体にも対応する定量充填機『フレックス充填システム』

PRモーノポンプの『フレックス充填システム』は、低粘度液はもちろん高粘度液…

『フレックス充填システム』は、 ・サニタリー仕様モーノポンプ ・液切れの良いジャストバルブ（充填弁） ・コントローラー をセットにした、定量充填に適したシステムです。 ［特長］ ○ 固形物や気泡を含んだ液体も傷めず、定量充填 ○ 液切れが良く、容器や周辺を汚さない ○ 専用コントローラーで充填量の設定・変更も容易 ○ 液や製造ラインに合わせ、ポンプ+充填弁+制御方法の組み...

メーカー・取り扱い企業： 兵神装備株式会社 東京支店

重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-5C(SAN)型」

重たいワークでも効率よく非接触搬送可能なベルヌーイチャック

　重量物非接触搬送装置（フロートチャックSA-５C(SAN)型）は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 新方式： 気体垂直噴流方式の説...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」

ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック

クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、気体を噴出することにより効率よく、ワークを非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送します。 　クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。 　そのためクリーンルーム内でのウエハ、ガラス基板他の非接触搬送に用いることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

耐熱仕様：非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

本製品は使用環境温度、化学的仕様に応じた製品を製作しております。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。 　半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、ＣＶＤ装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。 　その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…

超細・長尺ワ－クを非接触吸引するため新方式： 気体垂直噴流方式（VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 ...気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...TAIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所