ロバステル社製 産業用セルラールータ R151xシリーズ

PR廉価で使い易い産業用セルラールータ

R151xシリーズには、1．R1510（DI/DO対応）、2．R1511【Aタイプ】（RS232対応）、3．R1511【Bタイプ】（RS485対応）の三種御座います。 IoTやM2Mデバイス向けに高速ワイヤレス接続を提供し、最大限の安定性と信頼性を確保します。 イーサネットを2ポートを搭載し、高度なクラウド管理システムと産業用ポート（DI/DO、RS232、RS485）を備えた産業向け4G L...

メーカー・取り扱い企業： エム・シー・エム・ジャパン株式会社 Product Marketing

紙器・紙製コンパクト・パルプモールドのご紹介

PR環境対応のオリジナルパッケージを短納期で製作。小・中ロットの依頼に対応

当社は、オリジナルのパッケージ作成が可能な「紙器」などを提供しています。 「貼函」は商品の価値を引き立たせ、安心して届けるための設計で、 様々な材料から選択でき、手作業による高精度な形状再現が可能。 他にも、金型不要でリードタイムを抑えた、新規形状や加飾の自由度が高い 「紙製コンパクト」や、プレス加工によりロゴや柄などの繊細な模様も 浮き上げで再現できる「パルプモールド」をライン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラシーズ 本社

高圧ガス対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『RDシリーズ』

コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ！手…

『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいO...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』

スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータ…

『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従…

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

WET系樹脂バルブ『FCDT』（200℃対応高温樹脂弁）

自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備！　手動弁はLOTO（鍵）機…

『FCDT』は、200℃流体に対応できるWET系バルブです。 自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備しており、 手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能。 また、手動弁は3段階に開度設定ができるステップト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

石英管対応　接続継手『SQ』

取り付けや取り外しを繰り返しても、信頼性の高い優れたシール性能を常に実…

『SQ』は、石英チャンバー・リアクターにお使いいただける、 安全で再現性のある接続継手です。 ナット締め付けによるOリングの供回り防止と、Oリングの抜け止めとして、 フッ素樹脂コーティングワッシャーを使用。 ストッパーによって、ナットの締め付け量が一定で、ナットの締めすぎに よる石英管の破損を防止します。 【特長】 ■抜け・共回り防止 ■フッ素樹脂コーティングワッシャー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能…

リカーサー （前駆体）供給に好適。 樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安定して再現性のあるガス流量が得られる ■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用 ■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『高温（250℃）対応バルブ』

高性能、コンパクト、低価格を実現！均熱性を必要とする有機金属系の半導体…

『高温（250℃）対応バルブ』は、バルブ構成部品を全て オールメタル化することにより、250℃での使用が可能です。 独自の設計により高温環境でのCv値の落ち込みを極力減少させ、 高性能、コンパクト、低価格を実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換…

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。 　※ メンテナンス後は製品保証外となります ・高温環境下で使用可能！ ZD series：200℃まで、ZD-K series：2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ

材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着…

高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能！ 　バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。 　※メンテナンス後は製品保証外と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』

半導体製造プロセス用高純度ガスに対応！高いシール性能と高耐久化、脱ガス…

『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

メタルガスケットシール継手『IF』

大流量タイプに好適！回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易

『IF』は、大流量対応のメタルガスケットシール継手です。 ニッケルガスケットを採用することでシール性能も高気密を実現し、 耐食性に優れ、腐食ガスにも対応可能。 また、ガスケット固定ピンで仮止めができ、施工時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『VLDシリーズ』

駆動部品数の最小化、単純化を実現！半導体用高純度ガスに対応し、パーティ…

です。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び耐久性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性…

ブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。 【特長】 ■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能 ■角型ボディを採用する事により、低コスト化を実現（IVB） ■玉抜きボディを採用する事により、大きなコンダクタンス性能を実現（IVBL） ■ベローズシール構造により高いリーク性能を有する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な…

『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス（接液）部を研磨仕上げと 禁油処理を施し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ』

クリーンで使いやすいWET系バルブ！特殊機能付きや200℃対応高温樹脂…

『FCDNシリーズ』は、クリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 超高純度流体に対応したフッ素樹脂製の「手動弁・自動弁手動」をはじめ、 全開流量を任意に設定できる「流量調整付自動弁」や「バイパス付自動弁」 などをラインアップ。 用途に応じてお選びください。 【ライン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

Ｙ型ベローズバルブ『IBC/IBD/IBE』

大径サイズストレートタイプ！当社独自のＹ型構造により、より高いCv値を…

均一に仕上がっており、「IBE」タイプはベアリング内蔵のネジスリーブ 構造の為、ハンドルトルクが小さく操作性に優れております。 パージポートをオプション仕様として､1次側､2次側､両側に対応可能です｡ 【特長】 ■当社独自のY型構造の為、S型より高いCv値を実現 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■コンパクトな設計 ■大径サイズストレートタイプ ■パージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空…

長期リーク性能を維持する事が可能 ■可動時の生成物脱落が少なくなり、パーティクル発生が極力減少 ■ベローズの高耐久化を実現 ■接続フランジは「ISO KF」「JIS VF/VG」など各種接続に対応可能 ■オプションとして磁気近接開閉スイッチ・サーモスタットなどをご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』

1.125"C-SEAL対応　コンパクト設計のバルブ！誤作動防止LOT…

『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』は、1.125" C-sealに対応する コンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を 揃えており、手動弁は、90°回転ハンドルで、誤作動防止の LOTO機構付...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ『IB』

デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現！ストレートタイプのベ…

の流量を必要とした ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。 ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても 対応できます。 【特長】 ■デッドスペースを小さくした結果、パージ時間の短縮化を実現 ■ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能 ■高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブにつ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止！　OPEN状態 或いは OPEN-C…

南京錠またはワイヤー（最小φ3.18）を通すことで、 　バルブのLock-out Tag-outができ、作業者の誤操作防止に役立つ ■オプションでOPEN状態、OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能 ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…

製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。 【特長】 ■真空用KFフランジ接続タイプ ■大型チャンバー用のリークバル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ『SBB』

コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバル…

を前提とした、パイプサイズのベローズ バルブです。 エア供給口を頭部に設定することで、配管向きを気にすることがなく 設計でき、パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に 対応可能。 シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用しています。 【特長】 ■ストレートタイプ ■ボディを鍛造にすることで軽量化 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている…

ルをします。 バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの 2種類を用意しており、このバイパスバルブは15Aサイズを除く「IVB」 「IVBL」「IVBH」シリーズ全てに対応可能です。 【特長】 ■従来のスロー排気ラインがメインバルブと一体構造 ■省スペース化が可能 ■排気ラインの低コスト化が可能 ■バイパスバルブは機種によって複数台取り付けることが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

WET系樹脂バルブ『FCDシリーズ 自動バイパス弁付自動弁』

緊急時はバイパス弁も自動で遮断可能！薬液充填ラインなどで省スペース化に…

【対応サイズ】 ＜インチサイズ：ミリサイズ＞ ■3/8"：φ10 ■1/2"：φ12 ■3/4"：φ19 ■1"：φ25 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

タルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティングしている。ボディに装着したヒーターの熱が駆動部側から放熱してしまい、困っている、、、 といったお悩みはありませんか？ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『流路まるごと事例集』 原料容器用バルブの安全対策 ※無料進呈中

半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。

お困りではありませんか？丸ハンドルのダイヤフラムバルブの安全対策。輸送時の安全対策事例をご紹介します。 ・輸送時の振動によるバルブハンドル緩み対策 ・作業者の誤操作によるヒヤリハット事例に対応するバルブ" ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRHD8Cシリーズ』

大流量供給システムに最適！安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高…

『NRHD8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRMD8Cシリーズ』

安全・高耐久・パーティクルフリーを実現！アクチュエータをスリム化した高…

『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 BSGS（特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。 【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSG...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　コンパクトダイヤフラムバルブ『KCDシリーズ』

「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現！基本性能は「KDシ…

を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4" サイズに限定しKDシリーズと同じデザ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』

KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能！手…

『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』は、KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。 従来の4点締め施工ではなく、Center-lock方式を採用。 バルブ交換が非常に簡素化され、メンテ施工性が非常に優れており、 ユーザーの生産性に大きく貢献致します。 また、バルブとブロックの装着時の配置ミスを防ぐため、バルブと ブロック部の接合点の切り目サイズが、それぞれIn側、Out側...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー