フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

超精密膜（SMF）ネイキッドタイプ

高濁度・高負荷・水量増加・有機物回収のお悩みを解決

浄水用の浸漬膜としてだけではなく、排水処理として注目を集めるMBR（膜分離活性汚泥法）としても使用できる中空糸モジュールです。 【特長】 1設置規模が小さく省スペース 2.処理水量増量に対応 3.安定した処理水質 4.水のリサイクルが可能 5.さまざまなシーンの濃縮回収に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーケミ

地下水アンモニア低減システム【アクティソモナス】

硝化菌によるアンモニアの硝化作用を利用した生物学的な処理方法です。原水…

り薬品の過剰注入を抑えることができ、 　結果的に塩素酸の高濃度化を抑制できます。 ●原水アンモニア濃度に合わせ、 　充填材やユニットを組合せることができるため、 　高濃度のアンモニアにも対応が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーケミ