• FOUP洗浄装置 製品画像

    FOUP洗浄装置

    PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

    【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能(常温→65℃まで3秒)  ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa(15...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン

  • レーザーマーカー『UBI Basic』 製品画像

    レーザーマーカー『UBI Basic』

    PR安全性が高いClass1製品仕様!高出力パフォーマンスでリーズナブルな…

    『UBI Basic』は、アルミ・鉄・SUS等の金属部品、工具、銘板などの 小・中型ワーク向けの高出力でコストパフォーマンスに優れたレーザーマーカーです。 一品一様のマーキング工程に適しており、独自のMicro aWave レーザーソースにより様々な対象物にマーキングが可能。 Z軸ボタンによりステージの昇降、電磁式インターロックを 標準搭載、正面スタートボタンで簡単にマーキング開...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東陽 グローバル商品課

  • 手動式ウェーハ厚さ測定機(STM-06型) 製品画像

    手動式ウェーハ厚さ測定機(STM-06型)

    φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定

    手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。 ・ウェーハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるコスレキズ等を防ぎます。 ・測定したデータは付属パソコンのEXCEL...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 手動式ウェーハ厚さ測定機(STM-05型) 製品画像

    手動式ウェーハ厚さ測定機(STM-05型)

    φ100mm~φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

    本機械は、φ100mm~φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。 ...・本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。 ・卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能で...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 基板制作装置 スプレー式小型エッチング装置 製品画像

    基板制作装置 スプレー式小型エッチング装置

    まだ手動ですか?卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

    『スプレー型小型エッチング装置』は、プリント基板などのエッチング処理や、現像処理をする卓上サイズの基板制作装置です。 エッチング液(塩化第二鉄)の化学反応を使って、銅箔を回路パターン通りにエッチング(化学腐食、蝕刻)加工をします。 手動でやっている作業をスプレー型小型エッチング装置に置き換えれば、 再現性も高まり、作業効率も向上! フィルムへのプリント時のエッチングにも使用されたこ...

    メーカー・取り扱い企業: サンハヤト株式会社

  • 手動式厚さ測定機(STM-03型) 製品画像

    手動式厚さ測定機(STM-03型)

    φ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定装置

    本機械はφ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定を行う装置です。 ウェーハのセットおよび測定は作業者の手動操作で行います。...・厚さは中心1点と外周8点(TV-9)の測定が可能です。 ・測定データをEXCELに取り込むことができます。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 空気作動式PTFEバルブ 製品画像

    空気作動式PTFEバルブ

    空気作動式PTFEバルブ

    オープンボール構造により、流体の停滞と溜まりをなくす自己排出デザイン。バルブからのパーティクル発生を最小化。改良された流動体力学による圧力降下を少なくし、低い上流圧に対応。 1/4〜1-1/4の豊富なサイズ。手動バルブ及び集積マニホールドでの供給対応。...オープンボール構造により、流体の停滞と溜まりをなくす自己排出デザイン。バルブからのパーティクル発生を最小化。改良された流動体力学による圧力降...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社フロー・ジョイント

  • スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型 製品画像

    スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型

    自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!

    SD-8004型は、4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001 製品画像

    枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001

    2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!

    SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピン洗浄装置 スプレー現像装置 製品画像

    スピン洗浄装置 スプレー現像装置

    【デモ機貸し出し可能!】一度に数枚のワークを処理できます

    本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。 一度に数枚のワークを処理できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○スピン式のスプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を実行 ○一度に数枚のワークを処理可能 ○現像液は予めタンクで電子冷熱機により恒温に保たれポンプで循...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』 製品画像

    スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

    高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

    高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa(*1x10-4Paまで最速30分!) ● スパッタ源 x 3:連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション:上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統(MFC制御)、RF/DC PSUの増設(最大2電源まで)...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』 製品画像

    固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

    均一性に優れた多層膜を形成できる!全自動多層膜形成装置

    AFTEX-8000シリーズは、1つの成膜室に傾斜配置したECRプラズマ源を2基搭載し、高品質な光学薄膜などを最大8インチ径の基板上に均一性に優れた多層膜を形成できる、C to C枚葉式全自動多層膜形成装置です。 高活性・高密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜...

    メーカー・取り扱い企業: JSWアフティ株式会社

  • ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』 製品画像

    ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

    複数材料の多層膜が成膜可能!高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

    『AFTEX-6000シリーズ』は、低圧で高密度のECRプラズマ流と、スパッタ粒子を 直接反応させることにより、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。 ECRプラズマ源2基を搭載し、全自動搬送・成膜ができ、多層膜形成に最適。 【特長】 ■広範囲な膜種による多層成膜 ■高屈折率制御が可能 ■高速で成膜が可能 ■低温・低ダメージで高品質、高結晶性 ■基板および成長面のクリ...

    メーカー・取り扱い企業: JSWアフティ株式会社

  • Parker 計装用ボールバルブ 製品画像

    Parker 計装用ボールバルブ

    パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

    パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブは、手動、空気、電気により作動させることができ、加工や計測用途に利用される流 体を迅速な 1/4 回転操作で制御できます。ボディ、シート、シール材の選択の幅が広いので、広範囲にわたる圧力および温度で使用できます。...• 自由浮動のボール・デザインによりシートの耐摩耗性を補強 • 316 ステンレス鋼および真ちゅう構造が利用可能。合金 N2413...

    メーカー・取り扱い企業: アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

  • 枚葉式露光装置 製品画像

    枚葉式露光装置

    FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置

    5kWのショートアークUVランプを搭載...装置は、材料手動L/UL部、整合および露光部、付帯の真空ポンプボックスで構成されています。 ITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウムスズ)パターンを画像認識し、あらかじめコーティングされた銀インクレジストを露光します。...

    メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社

  • FOUP洗浄装置 製品画像

    FOUP洗浄装置

    特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

    【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能(常温→65℃まで3秒)  ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa(15...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン

  • シャッター 製品画像

    シャッター

    ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

    ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。...ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用 超高真空領域まで使用可能 バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲 回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能 両端コンフラットフ...

    メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社

  • 株式会社ジャステム 事業紹介 製品画像

    株式会社ジャステム 事業紹介

    測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム

    株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェーハ、LED基板用サファイアウェーハ、太陽...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • ウェーハハンドリング装置(CHI-02型) 製品画像

    ウェーハハンドリング装置(CHI-02型)

    シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

    ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。 従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。 ・P/N判定は接触式にて行います。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜(片側最大約45°) 360°回転 ユニット全体...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 「インプリント装置シリーズ」 株式会社ライズワン 製品画像

    「インプリント装置シリーズ」 株式会社ライズワン

    ライズワンの精密転写技術を盛り込んだ装置のラインナップです。

    弊社では、お客様の自動化、省力化、既存設備のアップグレードというご希望に対応すべく製作しております。 ◆ロール加圧式インプリント装置:大面積モールドからガラス基板へのUVインプリントを行う装置(転写方式 - 転写ローラーによる加圧方式、転写速度 - 0.1mm/秒~50.0mm/秒) ◆インプリント装置:モールドからウェハに転写する装置(つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修) ◆...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ライズワン

  • 加熱スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』 製品画像

    加熱スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』

    注目度高し! 試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

    最近お引き合いの多いアクティブの人気機種『ACT-300A II-H』は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。 基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。 1分間の回転数を0~6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アクティブ

  • キャリア厚さ測定機(CME-05型:手動タイプ) 製品画像

    キャリア厚さ測定機(CME-05型:手動タイプ)

    シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

    作業者が測定位置を決めフットスイッチにより厚さ測定が可能です。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録することも可能です。 ...・測定位置は自由に決められます。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・お使いのキャリアサイズ、材質などはご相談ください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 非接触式 直径測定器(DMC-01型) 製品画像

    非接触式 直径測定器(DMC-01型)

    画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。

    ・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転することでオリフラ面の直径やノッチの深さにも対応します。 ・カメラ取り付け部分は上下方向に手動調整が可能な機構となっています。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

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