多機能振動計測・分析ソフト『SVRシステム Fシリーズ』

PR1ch～128chの振動計測に対応。異常振動の監視や、振動モード分析な…

多機能振動計測・分析ソフト『SVRシステム（収録システム） Fシリーズ』は、簡単な設定入力だけで、計測やアウトプットが手軽に行える製品です。 スペクトル計測、ウォーターフォール計測、打撃試験・モード計測といった 各種振動計測をこのソフトでカバーできます。 ソフトウェアのオリジナルカスタマイズも承っておりますので、 計測でこんな機能が欲しい！などのご要望の声もお待ちいたしております。...

メーカー・取り扱い企業： 国際振音計装株式会社 加古川試験所

広帯域振動計測・判定システム

PR超音波領域の振動に対応し、多彩な判定機能を標準装備した振動計測システム

VIT-200Rは、200KHzまでの広帯域振動を解析判定可能な、計測ユニットです。 2chのピエゾ振動センサ入力のほか、アナログ信号入力2chを有し、 複合的判断をすることにも対応可能です。（ソフトカスタイマイズ） 設備の異常や予兆検出、構造物の状況測定、製造作業結果判定など、 多くの分野への応用が可能です。 標準機能の使用手順は次のようになります。 １．PCと接続し、複数パターンの振動デー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アローセブン

【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低…

■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄 　薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■...

メーカー・取り扱い企業： 本多電子株式会社 産業機器事業部

基板搬送ケース 　GHB-6755

LCD（＝液晶ディスプレイ）・OLED（＝有機EL）用　基板搬送ケース…

振動テスト・衝撃テスト・落下テスト・結露テスト・トラック輸送テストを 実施しお客様から信頼と、高い評価得ているアルポリケースGHB-6755 ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■ガラス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

精密洗浄用ブラシガン

精密洗浄用ドライクリーニングガン！　パルスエアーとブラシ振動のダブル効…

◆特殊ノズルが回転しながら噴射することにより発生するパルスエアーと、パルスエアーの回転により振動するブラシのダブルの効果で基板を強力に除塵します。 ◆エアーだけでは取りきれなかった小さな穴の削りカスも、パルスとブラシの振動で掻き出します。 ◆ブラシは毛の１本１本まで細かく高速振動するので、...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ガリュー

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

保護のために鋼鉄製の二重リング銅やスライドドアを採用 回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用 モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用 本体の異常振動検知に振動スイッチを採用 真空度のチェックに真空監視機構を採用 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

【特長】 ◎アルポリケース 　■振動・衝撃・落下・結露・トラック輸送テストを実施 　■修理可能。半永久的に使用できる 　■エコマーク取得。環境にやさしい 　■熱伝導率が良く、結露しにくい 　■寸法精度・耐振動性・耐剛性にすぐれ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

防振キャスター（ソアキャスター）

精密機器・精密部材の運搬や、静かな環境が求められる現場に適しています。

スプリングを粘弾性体でコーティングした特殊ダンパーを採用することにより、ノーマルキャスターに比べ、振動が最大1/5以下、発塵が最大1/3以下に低減されます。走行時の振動と共に、騒音の発生を防止します。...

メーカー・取り扱い企業： エレクター株式会社

4層ベローズ

高耐圧と低いバネ定数を兼ねそろえた4層ベローズ、強度を保って抜群のやわ…

『4層ベローズ』は、高圧下で柔らかさ、超寿命が求められる、振動配管・ 真空振動乾燥機の振動吸収用ベローズです。 高い使用圧力にも拘らずベローズの長さに制限があり、バネ定数に 制約のある、バルブ・安全弁・メカニカルシール・ロータリージョイント等に 適...

メーカー・取り扱い企業： 三元ラセン管工業株式会社

ブロードモーションセンサ

低周波振動から機械振動までを1つでカバー

傾斜を含むDC成分および振動数0.1Hz ～ 1000Hzまでの加速度0.1gal ～ 6Gを3軸出力するIMVオリジナルセンサーです。...

メーカー・取り扱い企業： ＩＭＶ株式会社

基板搬送用　オールインワンケース（アルポリケース）

基板搬送用　オールインワンケース（アルポリケース）

■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■ガラスサイズ／Glass size(mm）　1100×1300×t0.7 ■投入枚数 ／Sheets 〜60枚 ■重量／Weight(k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

横河ブリッジ独自の制振技術

装置の振動でお困りなら横河ブリッジにご相談下さい！

様々な装置に振動が発生しますが、精密装置においては 振動が精度やスループットに悪影響をおよぼします。 当社は、このような振動問題を解決する方策として 一般的な溶接構造よりも高い減衰性能を持つ「高減衰構造体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横河ブリッジ アドバンストエンジニアリング事業部

PIND試験装置　微粒子衝撃雑音検出装置

デバイスの異物粒子を検出。一時間当たり2000部品以上の試験が可能。

【仕様】 ○振動 周波数：サイン波27～265Hz 加速度：0～20Gピーク 加振機：22.7kgf、19mmp-p、190cm/sec 増巾器：240Ｗ 最大搭載重量：20G ピーク時、200グラム ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

多層ベローズ

一層山当りのバネ定数の違いで、従来品と同じ板厚でも驚きの柔らかさを発揮…

が取り扱う『多層ベローズ』をご紹介します。 薄板を重ねて製作することで、板と板が中でスライドし合い、柔らかい 伸縮性のあるベローズが成り立ちます。 高圧下で、柔軟性や高寿命が求められる振動吸収や真空振動乾燥機に使用され、 安全弁・バルブ・メカニカルシールなどにも多く使用されています。 【特長】 ■柔らかく伸縮性がある ■薄板を重ねて製作 ■従来品と同じ板厚でも驚きの柔ら...

メーカー・取り扱い企業： 三元ラセン管工業株式会社

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

ゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

磁力を利用した非接触動力伝達装置「プロスパイン」

磁力を利用した非接触動力伝達装置！従来の歯車ではつきものの発塵や磨耗・…

発の力を利用した動力伝達伝達装置です。従来の歯車ではつきものの発塵や磨耗・騒音といった問題を解決し、静かで安全・クリーンな動力伝達を実現します。 【特長】 ■非接触により回転するため、騒音や振動がほとんどありません。 ■非接触での噛み合いによるため、発塵（ホコリ）が出ません。 ■２つの磁気歯車の隙間に遮蔽物を挟んでも、動力を伝達します。 ■密封・シールドした状態でも動力を伝えるので、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プロスパイン

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

■薬品を全く使用せず、常温で洗浄・殺菌・脱水の同時処理が短時間で可能 ■超振動α-攪拌機の振動流動による完全洗浄・洗浄時間はタイマーにより制御 ■酸化チタン製の振動羽根の光触媒機能による短時間殺菌処理・ほとんどの最近に対応 ■殺菌・洗浄後、高速回転による遠心脱...

メーカー・取り扱い企業： 日本テクノ株式会社

クリーンルームに適した耐震金具カタログ

アンカーレス耐震工法なので、床への穴あけ作業が無く粉塵や振動が発生しま…

今まで生産設備や研究機器の地震対策を考えた時、アンカーでの対策が一般的でした。しかしアンカー対策を行う場合は、床への穴あけ作業のため粉塵や振動が発生し、クリーンルームなどでは対策自体が行えない場合がありました。 アンカーレス耐震工法の場合は、プロセブン耐震マットと専用の耐震金具を使用するため床への穴かけは必要なく、施工時に粉塵に振動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭電通

動力伝動装置用にシムリングで装置の精度向上に貢献します。

シムリングで動力伝動装置の振動や騒音を防ぎ、精度向上に貢献します。素材…

動力伝動装置の振動や騒音を防ぐことにより装置の動作の精度向上に貢献する丸形シムリングを製作しています。弊社ではSUSであれば0.01ｍｍ～の製作が可能でレーザー加工技術によりバリの少ない仕上を実現しています。 素材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富山プレート

基盤搬送用アルポリケース『GHB-9273』※TFT・PDP対応

G8まで非接触！当社『ケース管理システム』でエコマーク取得、保管・維持…

『GHB-9273』は、振動・衝撃・落下・結露テスト、および、 トラック輸送テストをクリアした高耐性の基盤搬送用アルポリケースです。 大型ケースに対応し、G8まで非接触。最大40枚の基盤収納が可能です。 また、当社の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさ…

となっており、配管施工後でも脱着が可能な継手です。 ボルト締結時、継手が締まる方向に回転する当社独自の構造により、 取付方による継手の緩みは発生しません。 半導体用材料容器搬送時の振動による緩み防止対策や工場配管設備 の地震への防災対策などの安全対策にお使いいただけます。 ＃振動対策 【特長】 ■ボルト1本で締結する構造 ■配管施工後でも脱着が可能 ■リークテスト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

免震装置『ISO-Base（アイソ・ベース）』

後付・再構成・再使用が可能！IT装置の地震保護が驚くほど簡単になりまし…

『ISO-Base（アイソ・ベース）』は、地震時の強烈な振動や衝撃から 基礎分離し、精密機器を保護する免震装置です。 マグネチュ－ド7.0～8.3レベルの大地震にも3次元の免震機能を発揮。 地震の縦ユレ、横ユレにも対応します。 また、稼動中の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッチ・ビス株式会社 株式会社ハイブリッチ 東京支店

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納入実績があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

『流路まるごと事例集』 原料容器用バルブの安全対策 ※無料進呈中

半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。

出荷時はしっかり閉まっていた原料容器バルブが、輸送時の振動により緩んでしまう、 ハンドルが半開しているのに気づかずに作業者がキャップやプラグを外してしまったなど、 原料容器輸送時における緩み防止、ヒューマンエラーなどの課題はありますか。 KKIT...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』　原料容器接続継手の安全対策 ※無料進呈中

容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

"出荷時に原料容器に付属するバルブが閉まっていることを確認していたが、輸送時の振動により継手が緩んでしまった、といった課題はありますか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホーム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ホース用継手「カンタッチ」

漏れない、抜けない、外れないホース用継手。２０年以上の信頼と実績があり…

【特長】 ・独自の密着構造でホースをしっかりホールドし、圧力や振動による緩み、水漏れ、ホースの抜けを防ぎます。 ・継手本体とホース差込部が分離している為、ホースの付け替えや他のラインとの入れ替えもカンタン。 ・ホースバンドのように締め付け加減を調整する必要が無...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…

ターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

・基板回転・上下昇降・加熱（500℃）オプション ・プロセスガス制御：MFC x 1（Ar標準、最大3系統増設：N2, O2） ・APC自動制御（キャパシタンスマノメータ オプション） ・水晶振動子膜厚モニタ ・シャッター ・寸法：804(W) x 570(D) x 600(H)mm ・重量：約70kg ・電源：200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ：Φ225（内...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！

高精度三次元測定機を有し、1μの精度を保証いたします。受託検査も可能

お客様のご希望の精度を保証する為、三次元測定機を複数設備。 LEGEX９１０６はミツトヨ製の最高クラスの高精度三次元測定機で、高精度の要望にお応えするべく 導入しました。 地下振動を最大限抑える為、アクティブダンパーを利用した免震構造用い、振動影響を無くし1μｍを保証しています。 また、±０．５℃以内の恒温室に設置することで製品の温度管理を行い、熱膨張による測定のバラつきを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能（750/1000/1500/2000ｋHz）で、微細な出力調整ができ、1W刻みの安定した出力調整が可能です。最...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

回転体の計測でお困りの方へ！『スリップリングの基礎知識』進呈中

いまさら聞けない基礎知識、トラブル対処法をわかりやすく解説！長年のノウ…

当社では、高速回転対応・小型・軽量・低ノイズのスリップリングを得意としています。 自動車・鉄道・航空・船舶など輸送機器業界や各種産業機器の実験開発現場において、回転体の温度測定やトルク測定、振動・加速度測定など多種多様な計測ニーズにお応えできるラインナップを提供しています。 高品質な計測を実現するため、事前打ち合わせやアフターケアにも注力しています。 ★ただいま、当社のノウハウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東測