フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

コーン＆スレッド加工マシン　ネジキリコ

コーン加工（テーパー）とネジ加工（スレッド）を1台で完結。コンパクトサ…

560×410mmのオイルパンサイズ・44kgとコンパクトで、持ち運びに適している。カバーのないオープン設計のため、工具やワークの取付けも容易。本体は国産パーツで構成しており、交換部品の調達も迅速かつリーズナブルに行える。切削油用ポンプ搭載で、切削面に常時注油可能。AC100V電源で駆動。回転数：32回／分(左回転時)、加工時音量：80dB以下。...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部