高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

空気圧駆動圧力制御弁　AS260【サーボミニコンポ】

PR空気圧駆動　アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁

当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適した とても使い勝手の良いお勧めの新製品です。 精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化した圧力制御弁 ・電気信号に比例してパ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲…

ch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。 本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけま...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アニール機

遠赤外線で各種材質のアニールが可能！複雑形状品、異形材質構成に対応でき…

歪みの除去や 成形後の寸法安定、物質値の向上に好適な遠赤外線のアニール機です。 各種材質、形状に対応。熱可塑性、熱硬化性に至り、 各種材質のアニールが可能です。 複雑形状品、異形材質構成に対応できます。 【特長】 ■各種アニール目的に対応 ■成形品残留歪みの除去、成形後の寸法安定、物質値の向上 ■各種材質、形状に対応 ■熱可塑性、熱硬化性に至る ■複雑形状品、異形材...

メーカー・取り扱い企業： 太陽フロロ株式会社

薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装…

ズ】 ハイパフォーマンス！nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置 コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】 多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュア...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と管理を実現。 半田付室の前後に基板搬送機構を追加。ハイスループットと高いレベルのボイドレス半田付を両立。 基板・ライン構成・生産量に合わせて最適なハードを提供...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

０～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。 高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。 太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高温工業炉　タングステン・モリブデン部品

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

タージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

【開発事例】各種磁性材料・機能性材料向け設備

フリーとしながらも優れた磁気特性を実現する異方性希土類鉄系焼結磁石など…

実現 　・低コスト化、耐食性改善(幅広い応用分野へ適用可能) ■フラッシュアニール炉 　・粉末粒径数10μm～数mmの粉末を1℃/sec～100℃/secを超える昇温速度にて熱処理可能 　・構成相及び金属組織制御に寄与 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： BIZYME有限会社

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

ーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリー...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

の他オプション： 2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

の他オプション： 2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

熱処理炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

タージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

電気炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

タージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

焼鈍炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

タージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー、ボート、熱処理用冶具 ●熱電対保護管、その他炉体構成部品 ■□詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい□■...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社