自動車内装材に！安価で加工性が良いアルデヒド用消臭剤〈VOC対策

PRエアクレンスFC-ＨＡ３００ＥＨはアルデヒド脱臭力が抜群な消臭剤で安価…

【特　長】 1) 本消臭剤は、無機塩類とグアニジン系化合物との相乗効果により、酸性下の基で優れたアルデヒド消臭効果をもたらします。また反応形態は、シッフ反応と付加反応の組合せです。 ・シッフ反応：アルデヒドとアミノ基（ＮＨ２）とのシッフ反応によりアルデヒドを除去する。 ・付加反応：アルデヒドと無機塩との付加反応でアルデヒドを除去する。　 　 2) 比較的耐熱性の高い成分で構成されてお...

メーカー・取り扱い企業： ユニオンケミカル株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

アルミ線/リボンワイヤ対応ウェッジボンダ PowerFusion

【高い生産性と信頼性を実現】ダイレクトドライブモーションシステム、高機…

用フルオートウェッジボンダーで、ベルトレスの最新ダイレクトドライブモーションシステムや高機能画像認識システムを採用しており、 従来に比べ生産性（UPH）と信頼性が大幅に向上しました。 また、ライン構成に合わせ、1ヘッドタイプから最大6ヘッドまでのボンドヘッド構成が可能です。アプリケーションに合わせたヘッド構成にすることにより高い生産性を実現し、必要に応じてライン変更が可能となります。 【特...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

X線検査装置『アドオン型CTユニット』

画像再合成時間が約10秒！標準型X線装置内部に組込可能な3次元CTユニ…

】 [検査ワークサイズ] ■SMT・PCB基板：約50×約100×約2mm ■小型電子部品等（IC・コンデンサ）：φ5～10mm、h=5～20mm ■回転機構　最大重量：約100g [画像構成タイム] ■Image Projection 400frame　積算回数16回：約3分20秒 ■Image Projection 900frame　積算回数16回：約7分30秒 ■Imag...

メーカー・取り扱い企業： ソフテックス株式会社 営業本部

デスミア装置

レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にス…

ETO ENGINEERINGでは、『デスミア装置』を取り扱っています。 当装置は、レーザードリルなどで、ブラインドビア及び、スルーホール などの穴あけ後にスミアを除去できます。 ラン構成は1レーンで、加工面は両面。 装置構成は、巻出～脱脂～エッチング～中和還元～～純水洗～液切り～ 乾燥～巻取となっています。 【スペック】 ■ラン構成：1レーン ■搬送速度：0.5～1....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲…

ch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。 本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけま...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

ーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリー...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

RIBER社 分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコーティングを使用することが可能です。代表的な材料としてZnSe、SiN、酸化物等がある。 構成例として、クリーニングとパッシベーショ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

■nmレベルのメタル膜の精密エッチング ■独自機構による抵パーティクルプロセス ■メタル膜、化合物半導体基板など幅広い用途へのプロセス対応 ■ナノインプリントモールド用「SERIO」の基本構成を生かした 　高いハードの信頼性 ■ウェハだけでなく特殊材質、形状基板への積極対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Agnitron社 研究開発(R&D)～量産用 MOCVD装置

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物…

Agnitron社のAgilisシリーズは、先端化合物半導体エピ成長を可能にする構成オプションを備えた柔軟なプラットフォームです。研究開発用(R&D用)の小型チャンバではシングル又はデュアルチャンバ構成選択可能、量産機用の大型チャンバではシングルチャンバ構成にて幅広い材料のエピ成長...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

コンパクト！同時蒸着！高拡張性！『真空蒸着装置・HEXシリーズ』

ブロックを組み立てるように自由自在に構成を変更可能な多目的真空蒸着装置…

HEXシステムは、ユニークな『モジュール構造』が採用されています。 六角柱の形状のチャンバーの、各面を構成するパネルを交換することで 自由自在にポートの数や配置を変更することができます。 そのため、研究の方向性の変化に応じて、まるでブロックを 組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や...

メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社

アルミ線ワイヤボンダ/リボンボンダー ASTERION

【生産性・ボンダ品質・信頼性を向上】ボンドエリアを拡大、進化したパター…

【その他の特長】 ＜自由度の高い装置構成＞ ■太線, 細線とリボンで共通のプラットフォームを使用することで、太線・細線・リボン各ヘッドへの切り替えが可能 ■拡大したワークエリアにはサイドに開口部を設けてあり、複数デバイスの一括押えや複...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

AVEVA冗長化セット提供（Stratus ztC Edge）

AVEVAとストラタスのセット構成で提供！お客様は設定不要！即使用可能…

MXTのAVEVA冗長化ソリューションは、ストラタスと組み合わせ、セットで提供しますので、お客様の設定作業は不要です。すぐに使用できるソリューションです。 従来と比べて、設定が楽、シンプルな構成、かつ堅牢な冗長化を実現できます。 運用保守では、高度なIT知識は不要です。故障したユニットは丸ごと交換、プラグイン保守。 ユニット交換後は、システムが自動再同期、自動復旧しますので、圧倒的に現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エックス・テクノロジーズ（MXT） 東京事務所/大阪事務所

AVEVA冗長化セット提供（Stratus ztC Edge）

AVEVAとストラタスのセット構成で提供！お客様は設定不要！即使用可能…

MXTのAVEVA冗長化ソリューションは、ストラタスと組み合わせ、セットで提供しますので、お客様の設定作業は不要です。すぐに使用できるソリューションです。 従来と比べて、設定が楽、シンプルな構成、かつ堅牢な冗長化を実現できます。 運用保守では、高度なIT知識は不要です。故障したユニットは丸ごと交換、プラグイン保守。 ユニット交換後は、システムが自動再同期、自動復旧しますので、圧倒的に現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エックス・テクノロジーズ（MXT） 東京事務所/大阪事務所

シケン社製　パイプ・ロッド研磨機 P-3C

2000台以上の販売実績！据え付け簡単な小ロット生産向けの簡易型研磨機

シン。P-3C型(適用ワークφ7～φ100)の他に、 旧タイプのP-2型（適用ワークφ40～φ150）受注生産の2種類があります。 素管生地状態、仕上加工目的に応じて2～12工程の連続ライン構成が可能。 研磨熱による影響を研磨材料の選択により最小限度に抑えた乾式研磨方式が主流です。 【特長】 ■2000台以上の販売実績 ■使いやすく優れた性能 ■適用ワークφ7～φ100 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スリーエフ技研

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

の他オプション： 2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

エッチング装置

エッチング装置

塩化第二鉄及び、塩化第二銅を使用し 現像後の銅箔をエッチングする装置 【特徴】 ○Lane構成：2Lane ○搬送速度：2.0m/min ○材料幅：TAB/CSP/COF用 35mm〜160mm（FPC用　250〜300mm） ○材料厚み：PI 25μm〜 ○加工面：片面 ○装置構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

低速にも強い、高速高精度リニアモータ

狙った場所にぴたりと止まる高速リニアモータ。低速等速性にも優れます

】 ●高推力 高性能マグネットを使用した最適磁気回路設計と高密度整形巻線技術により、省スペースで大きな推力が得られます。 ●ワイドレンジの等速性 モータの最適化と合わせて、可動部コイルの基本構成にコアレス（空芯）構造を採用。専用ドライバにより、超低速から高速まで安定した等速性を実現します。 ●優れた応答性と停止精度 推力変動の低減を極限まで追及した最適磁気回路・最適コイルの組み合わせに...

メーカー・取り扱い企業： 青山特殊鋼株式会社

研究開発用スリットダイコーター『卓ダイ』

操作が簡単！薄膜から厚膜まで、低粘度から高粘度まで1台で塗工可能

『卓ダイ』は、一人で全ての塗工操作ができるスリットダイコーターです。 スリットはシムを使用しない固定タイプで再現性があり、ダイは 3ピース構成、取外しが容易であり、液替え時間は約20分。 液供給部が塗工幅と同一な為、平行流状態で液吐出が可能です。 この他に、A4サイズの基材に瞬時に再現性よくスプレー塗工する装置 「簡易スプレーコ...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

エッチング装置（2）

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力…

C等の薄い枚葉基板をロールtoロール搬送し連続にて エッチングを行います。 装置は、巻出（基板投入）～ラミネート～エッチング～水洗～ 酸洗～水洗～巻取（基板剥がし）～水洗～乾燥～基板積載の構成。 また搬送機構以外にも薬液温度・圧力を精度よくコントロールを行います。 【仕様】 ■Lane構成：1Lane ■搬送速度：1.5m/min ■材料幅：MAX350mm ■材料厚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

テンションレベラーライン

お客様の製造環境や最終製品に適合した、ご要望のラインをご提案します！

不良や反りを矯正します。 当社はマルチレベラーの他、伸張レベラーもラインアップしており お客様の製造環境や最終製品に適合した、ご要望のラインをご提案します。 【テンションレベラーライン構成例(一部)】 ■入側コイルカー ■ペイオフリール ■入側デフロール ■クリーニングパッド ■入側ブライドルロール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 生田産機工業株式会社

LED光源マスクレス露光装置　DL-1000シリーズ

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の…

DMD（Digital Micromirror Device）に転送されたグレースケール信号をピクセル（□1μm）単位で光強度に階調を持たせた2次元画像として逐次投影することのできるハードウエアから構成されています。 DL-1000を用いることで、マルチトーンマスクを使用したり多重露光をすること無く、レジストの三次元加工を容易に実現することができます。グレースケールデータの作成は、これまで階層毎...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノシステムソリューションズ

多目的ダイボンダ・フリップチップボンダ『pico 2』

接着剤・はんだ・熱圧着・超音波などの様々な実装プロセスに対応！迅速かつ…

な実装プロセスに対応 ■IPMコマンドによる統合型プロセス制御（熱、温度、荷重、他） ■幅広いコンポーネントサイズに対応 (0.05mm～100mm) ■モジュールシステムによる費用対効果の高い装置構成を構築 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

簡易シールドボックスプローバ『TBシリーズ』

プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービ…

ンスに 優れたモデルのプローバです。 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、 プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、除振台を標準装備。 プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を 構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。 【特長】 ■試料台、マイクロポジショナ、プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕...

メーカー・取り扱い企業： 雄山株式会社 東京支店

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

サです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

高電圧パルス発生器

電圧・電流設定の操作、モニタ-を行う事が可能

本電源ユニットは、研究用装置電源の機能として求められている多様な機能を有しています。 　本構成は、高安定度高圧電源、高電圧高速スイッチ、電流制御機能付き電源、温度制御機能付き電源及び、高耐圧絶縁電源の5種類(計25枚)のモジュール基板と、その制御処理を行うベース基板で構成されており、外部装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Ａ・Ｒ・Ｐ

DCテスタ『431-TT』

大電流・高圧測定、高速・パラレル測定にも対応！柔軟で多様なシステム構成…

31-TT』は、パワーデバイス測定のノウハウを継承し、かつ V/Iソース測定モジュールを採用した新しいコンセプトのDCテスタです。 オープンなアーキテクチャーとなっており柔軟で多様なシステム構成が可能。 大電流・高圧測定、高速・パラレル測定にも対応し、オペレーション画面上 での波形モニタなどのメンテナンス機能も兼ね備えています。 【特長】 ■VI ソースメジャモジュール構成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テセック

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層した...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

アニール機

遠赤外線で各種材質のアニールが可能！複雑形状品、異形材質構成に対応でき…

歪みの除去や 成形後の寸法安定、物質値の向上に好適な遠赤外線のアニール機です。 各種材質、形状に対応。熱可塑性、熱硬化性に至り、 各種材質のアニールが可能です。 複雑形状品、異形材質構成に対応できます。 【特長】 ■各種アニール目的に対応 ■成形品残留歪みの除去、成形後の寸法安定、物質値の向上 ■各種材質、形状に対応 ■熱可塑性、熱硬化性に至る ■複雑形状品、異形材...

メーカー・取り扱い企業： 太陽フロロ株式会社

ライトバンド

1ライトバンドは0.00029mmの平坦度を表します！表面は様々な研磨…

当社で取り扱っている『ライトバンド』についてご紹介いたします。 検体の平面度を測定するために、"オプティカルフラット"や "モノクロマチックライト"を使用することで構成されます。 真っ直ぐで平行もしくは幅広でない「ライトバンド」は平坦であるといえます。 【特長】 ■検体の平面度を測定するために「オプティカルフラット」や 　「モノクロマチックライト」...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

金属溶出無し！PTFE制自動着脱弁【ALL-PTFEコネクタ】

高い洗浄性！内部構造が非常にシンプルで流体の滞留部がない！金属溶出がな…

な殺菌、滅菌工程以降のラインに好適であり、この分野での製造設備で要求される機能（安全性、洗浄性、耐久性）と小型・軽量化を追及した製品です。 また、内弁を含めて弁内の全ての接液部の部品はPTFE で構成されている為、プロセス流体への金属イオンの溶出が無いので、半導体分野で使用されるウェハ洗浄液や基板コート剤などの薬品を対象とした設備への導入が可能です。 ■ナブテスコサービスのALL-PTFE...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

半導体装置関連部品

お客様のニーズに応え、試作から量産まで致します！半導体構成部品の加工

株式会社桐生明治では、半導体装置などに使用される構成部品を 加工しています。 材質はアルミ、SUS420F、SUS304、SUS316など。 難削材をより精度よく、バリも顕微鏡で確認するレベルの加工です。 また、打痕・バリ不可の為、ケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社桐生明治

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

イズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グローバルネットワークで現地サポートが受けられます。 【特長】 ■フレキシブルな構成と多様なオプションでカスタマイズ可能 ■一台で成膜とエッチングの両プロセスに対応 ■Failure Analysis等のデバイス評価プロセスにも適応 ■ダイ、パッケージ化ダイ、ウエハ片、フルウ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

【仕様】 ■ハード構成：ロードロック式　ロードロック室　エッチング室各1室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ8インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■対応基板：Si、石英...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

角形基板専用ダイサー『ADT7300シリーズ』

サイズは最大9インチ×12インチ！2つの構成がある単軸ダイシングソーの…

T7300シリーズ』は、角形ワークのダイシングが可能な単軸ダイシングソーです。 「7302」は、壊れたブレード検出器（BBD）と最大2.2kWの高出力2インチスピンドルの 2つのオプションで構成。 「7304」は、硬質材料のダイシングに対応する最大2.5kWの高出力スピンドルを 備えた4インチ全自動ダイシングソーで、最大外径5インチのブレードで構成でき、 厚さ10mmまでのワーク...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。 【特長】 ■実績...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

基本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換に...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装…

ズ】 ハイパフォーマンス！nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置 コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】 多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ウエハースケール グラフェン合成装置【nanoCVD-WGP】

Φ3inch、Φ4inch ウエハーサイズ対応プラズマCVD 装置。不…

対応プラズマCVD 装置。不純物を抑制し清浄・高品質なグラフェンを高速合成。 熱CVD、低温～高温プラズマCVD いずれの方法でも利用可能。マスフローガス供給系統、基板加熱ヒーターなどご要望により構成をカスタマイズ致します。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

精密部品洗浄装置（脱脂）

HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置　構成例：洗剤＋…

本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。 構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥　用途に合わせ製作致します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

インナーカップ式スピンコーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定…

・ 基板サイズ ：MAX２００mm□基板（対角300mm以内） ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

書籍『レジスト材料の基礎とプロセス最適化』

半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に…

本書では、フォトレジスト技術に関する幅広い分野をカバーし、実用書としても有意義な内容を構成しています。 具体的には、フォトレジスト材料、プロセス、評価・解析、処理装置までを幅広く網羅し、パターン欠陥などの歩留まり改善やトラブル対策に必須な技術も含まれており、フォトレジスト材料を扱う技術...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーエムシー・リサーチ

【用途事例】光通信デバイス実装とパッケージング

試作開発から量産対応まで！製造技術で高歩留りを確保

ディング装置の製造に特化し、常に先端の 技術を追求しています。その革新的なノウハウにより、微細部品実装に対応致します。 「FINEPLACERシリーズ」は装置の基本コンセプトであるモジュール構成により、 マニュアル機、セミオート機、フルオート機の各装置に、柔軟にボンディング プロセスを付加することが出来ます。 多目的用途ダイボンディング装置は、試作研究開発レベルでの少量生産から、...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所