コーティング剤検査装置『Sonar』

PRUVライトを使った2Dコーティング剤検査装置。独自開発AIを使った気泡…

『Sonar』は、弊社が持つ画像処理検査技術とUVライト＋RG照明を組み合わせたコンフォーマルコーティング剤検査装置です。 コーティング領域の全面検査とコーティング不可領域の任意検査に加え、自社開発AI技術を使った気泡検出機能が標準装備されています。また、レーザー変位センサを使った膜厚測定（オプション）を搭載することでワーク毎のコーティング厚のバラつきを記録することが可能になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュッツジャパン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

ワイパー『846』

ワイパー溝を完全に覆いつくしダストの侵入をシャッターアウト！ダブルリッ…

『846』は、ダブルリップのスナップインタイプの多機能ロッドワイパーです。独特の『アンブレラ ワイパー テクノロジー』はワイパー溝とヘッド端面を完全に覆い油圧シリンダへの水や汚れなどの侵入を阻止し腐食から守ります。 『846』は更に、ワイパーとロッド間に過度な圧力がかかると破裂する薄い膜（バースト メンブレン）を採用しており、ワイパーの飛び出しを防ぎます。 圧力が開放されると膜が閉じて再び...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・オー・テック 本社

マルチ真空プロセス装置

真空運搬ロボットを搭載したクラスター型複合プロセス装置

センターチャンバーの周辺にロードロック室を含め、全6室を搭載可能な クラスター型複合プロセス装置 【特徴】 ○センターチャンバーと各室間にゲートバルブを配置しコンタミを防止 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペースを実現 ○メインポンプをチャンバー上部に取り付け高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空運搬ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備 ○±3％の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

「真空蒸着用　EB源・電源」総合カタログ

「真空蒸着用EB源・電源」総合カタログ　配布致します。

日新技研社が取り扱う、真空蒸着用EB源・電源の総合カタログです 蒸着物質に対して、電子ビームを照射し再現性のある蒸着を行います ◆◆掲載製品◆◆ 　　○第三世代光学超多層膜用EB源：NEG-10N型 　　○超小型EB源：NEG-05N型 　　○カスタマイズ可能EB源：NEG-06Nシリーズ 　　○5kw電源：NEB-05S型 　　○5kw電源：NEB-05W型 　　○10k...

メーカー・取り扱い企業： 日新技研株式会社

複合コーティング装備　Hybrid PVD System

優れたコーティング膜を合成

Linear Ion source , UBM sputter , FCVA source の適切な組み合わせを通じて、 お客様のニーズにお応えする、複合コーティング装備...Linear Ion source , UBM sputter , FCVA source の適切な組み合わせを通じて、 お客様のニーズにお応えできる、最も優れたコーティング膜が合成できるようにした 複合コーティング装...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型

第三世代の超多層膜用EB制御電源

【真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型】 NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。NEB-10W型電源の制御盤を簡素化しリーズナブルにしたものになります。 〈特徴〉 ・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！ ・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！ ・外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能！ ・放...

メーカー・取り扱い企業： 日新技研株式会社

圧力スイッチ　SPS-8T-PM

耐薬品、超純水用仕様

受圧部（接液部）材質にテフロン（PTFE）を使用した圧力スイッチ、圧力センサーです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定圧力の上限、下限において 　同時にON-OFFの2点制御信号が得られ必要に応じ 　設定圧力値の変更ができる圧力自動制御スイッチ ■受圧部（接液部）には、高耐蝕性のテフロンを使用 　受圧素子には、ステンレスダイヤフラムにテフロン膜を合わせた 　2重構造のダイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所