植物性　塗料用洗浄液『ペイントソルブ-W』※動画公開中

PRコーティングジャパン出展商品！シンナーや塩素系溶剤の代替に好適！毒性ゼ…

『ペイントソルブ-W』は、シンナーや塩素系溶剤に代わる、植物性の洗浄液。 今まで洗浄が困難だった“塗装ガン”や“塗料配管”に堆積した 接着剤、インク、塗料などを強力に溶解洗浄することができます。 毒性物質がゼロ。危険物や有機則に非該当で、人や環境への影響を防ぎます。 今後の更なる環境規制を見据えた、安全・安心の洗浄液です。 【特長】 ■洗浄作業の手間を軽減 ■産廃処理費を大幅削減（廃液を再生可...

メーカー・取り扱い企業： インフィニティ株式会社

フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

ことができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

E-Axleの油冷解析にも『Simerics MP+』

E-Axleの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eAxleの油冷解析にも『Simerics MP+』

eAxleの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

イーアクスルの油冷解析にも『Simerics MP+』

イーアクスルの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

E-Axleの冷却解析にも『Simerics MP+』

E-Axleの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

イーアクスルの冷却解析にも『Simerics MP+』

イーアクスルの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eアクスルの油冷解析にも『Simerics MP+』

eアクスルの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eAxleの冷却解析にも『Simerics MP+』

eAxleの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eアクスルの冷却解析にも『Simerics MP+』

eアクスルの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 Monte-Carlo　Scatteri...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、...

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【事例紹介】コーティング材料メーカー様MIでの機械学習事例

『Pipeline Pilot』を利用した機械学習の活用事例を紹介しま…

ため材料開発の効率化も求められています。 例えば、材料開発時に使用された素材や反応時間、そして温度、ヒステリシスのような要因によっても左右されるかもしれません。 この条件全てに対して実験計画法を導入し、実際に実験、測定をしたうえで最適な条件を発見することは理想ですが、 それはコスト面や時間的観点から現実的ではありません。 そこで、 いくつかの実験条件（例えば、説明変数X1、X2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 Monte-Carlo　Scatteri...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 Monte-Carlo　Scatteri...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

2軸スクリューコンプレッサーのシミュレーション

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCFDなら、高性能な熱流体解析を大規模並列計算で高速に処理、簡単かつ迅速に結果が得られます。 また、冷却用潤滑油もVOF法で解析しており、実験に近い状況を再現しています。 これにより大幅な工数とコストの低減が期待できます! Simerics社製のCFDソフトを使用するべき理由はまだまだたくさんあります。下記...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社