植物性　塗料用洗浄液『ペイントソルブ-W』※動画公開中

PRコーティングジャパン出展商品！シンナーや塩素系溶剤の代替に好適！毒性ゼ…

『ペイントソルブ-W』は、シンナーや塩素系溶剤に代わる、植物性の洗浄液。 今まで洗浄が困難だった“塗装ガン”や“塗料配管”に堆積した 接着剤、インク、塗料などを強力に溶解洗浄することができます。 毒性物質がゼロ。危険物や有機則に非該当で、人や環境への影響を防ぎます。 今後の更なる環境規制を見据えた、安全・安心の洗浄液です。 【特長】 ■洗浄作業の手間を軽減 ■産廃処理費を大幅削減（廃液を再生可...

メーカー・取り扱い企業： インフィニティ株式会社

【テカン】4月17日～19日 Medtec出展：OEM製品紹介

PROEM用の精密ポンプやロボットアームの実機展示！システムの受託開発・製…

テカンは、液体ハンドリング分野において世界的に卓越した技術を持ち、 医療機器法規制対応した数多くの体外診断薬自動分析装置の開発と製造実績があります。 ■高品質な自社発の前処理、自動分析装置を新たに上市したい方 ■ご使用中のシステムの前処理装置や次世代装置の開発製造やその効率化にご興味をお持ちの方 ぜひブースにてお気軽にお声をかけてください。 ご来場を心よりお待ち申し上げます。 ...

メーカー・取り扱い企業： テカンジャパン株式会社

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

ことができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

E-Axleの油冷解析にも『Simerics MP+』

E-Axleの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eAxleの油冷解析にも『Simerics MP+』

eAxleの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

イーアクスルの油冷解析にも『Simerics MP+』

イーアクスルの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

E-Axleの冷却解析にも『Simerics MP+』

E-Axleの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

イーアクスルの冷却解析にも『Simerics MP+』

イーアクスルの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eアクスルの油冷解析にも『Simerics MP+』

eアクスルの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eAxleの冷却解析にも『Simerics MP+』

eAxleの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eアクスルの冷却解析にも『Simerics MP+』

eアクスルの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 Monte-Carlo　Scatteri...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・ 製造に適したシミュレーションソフトウェアです。 軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを 行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能。 2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます。 【特長】 ■低圧プラズマ解析が得意 ■軸対称...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

グリーン経営にも対応可能な車両管理台帳システム『FLiPS』

グリーン経営認証で必要とされる車両の管理(燃費含む)、導入計画、点検予…

1)車両管理台帳 FLiPSでは車両管理台帳の項目を使用者が自由に設定できます。 例えば排ガス規制適合把握やNOx・PM法規制適合把握等を始めとした各種法規の適合把握に必要となる「燃料種別」「排ガス規制区分」や黒煙の点検基準である「黒煙チャート紙による点検結果」、その他車両管理に必要となる車両別の点検項目も自由に設定で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

設備台帳整備の支援、設備の維持管理支援ソリューション

設備情報や故障履歴、報告書等の情報をデータ化し設備台帳を整備。LCCや…

大規模データやAI(人工知能／機械学習)を活用したメンテナンス手法が多くの企業から提案されており、効果についても多くの報告がありますが、一部の企業を除き、保全の現場では紙やExcel、Access、PDF等様々な形式での管理が主流であり、部署毎に管理されている情報...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

実験データの活用に 電子実験ノートBIOVIA Notebook

マテリアルズインフォマティクス(MI)取り組みに! 簡単&使いやすい…

多彩なデータ処理が可能なソフトウェア構築環境「BIOVIA Foundation」 にて拡張機能を作成し、当製品から呼出可能。 【カスタマイズ例】 ■試薬の法規制チェック ■複数の実験ノート上の情報を集約・可視化 ■実験ノート間の関係を可視化 *クラウド版/オンプレミス版がございます。 *無料トライアルも実施できます。 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

故障情報を元にしたライフサイクルコスト算出及び機会損失の低減

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース…

◆こんなお悩みをお持ちではありませんか？◆ ・故障情報は集まっているが何をすれば良いのかが分らない ・集めた故障情報を上手く活用したい ・故障情報を元に、自分達で分析を行いたいが良い方法が分からない ・分析した結果をアクションに繋げて機会損失を減らしたい ◆故障情報のデータ整理から仕組み構築◆ 弊社では上記のようなお悩みに対して、 １．問題意識の具体化 ２．算...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』

さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア …

『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例紹介】コーティング材料メーカー様MIでの機械学習事例

『Pipeline Pilot』を利用した機械学習の活用事例を紹介しま…

ため材料開発の効率化も求められています。 例えば、材料開発時に使用された素材や反応時間、そして温度、ヒステリシスのような要因によっても左右されるかもしれません。 この条件全てに対して実験計画法を導入し、実際に実験、測定をしたうえで最適な条件を発見することは理想ですが、 それはコスト面や時間的観点から現実的ではありません。 そこで、 いくつかの実験条件（例えば、説明変数X1、X2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

DX推進に! 電子実験ノート『BIOVIA Notebook』

【DX推進】シンプルで誰でも使いやすい電子実験ノート『BIOVIA N…

多彩なデータ処理が可能なソフトウェア構築環境「BIOVIA Foundation」 にて拡張機能を作成し、当製品から呼出可能。 【カスタマイズ例】 ■試薬の法規制チェック ■複数の実験ノート上の情報を集約・可視化 ■実験ノート間の関係を可視化 *クラウド版/オンプレミス版がございます。 *無料トライアルも実施できます。 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

『データマイニングによる異常検知と故障予知ソリューション』

設備や装置の異常検知や故障予知、品質向上に！手順をわかりやすくご紹介！

保全プログラムの導入 ■地方自治体向けリスク評価を含む保全カレンダシステムの構築と導入 ■電力会社向け回転機に対する検査結果及び故障履歴に基づく故障率推定と保全計画への反映 ■建設会社向けMT法に基づく機器特性の分類及び寿命推定と保全計画への反映 ■射出設備における故障率推定と保全方式の検討及び計画への適用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 Monte-Carlo　Scatteri...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 Monte-Carlo　Scatteri...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

ュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな 　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scatterin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社