FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

クリーンボトル『Nalgene ボトル洗浄サービス』

PR自社でのボトル洗浄の手間の軽減に！ ボトル内のパーティクルおよびメタ…

クリーンルームや制御された環境でボトルを使用していただくために、ボトルの洗浄前後の残存パーティクルやメタル成分を比較したアプリケーションノートを公開しています。 Thermo Scientific Nalgene ボトルに対し、国内専門工場による高度な洗浄と、可能な材質のボトルに対してはオートクレーブ滅菌（高圧蒸気滅菌）を承っております。 証明書発行によるボトルの品質管理をお手伝いしま...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

《新型》スピンスクラブ自動洗浄装置　（CMP後・研磨後洗浄）

量産現場向け　高信頼性自動スクラブ洗浄装置

■「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」としての量産現場に最適 ■マスクのコンタクト露光時に付着した「レジスト除去」にも対応可能 ■2-チャンバー構成で1.8分/枚にも対応実績有り ■「反転機能」...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

エキシマUV表面処理装置

ウェット処理との組合わせ自動処理でプロセスの高品質化

■エッチング前処理、レジスト除去前処理、剥離後洗浄、接着前処理等に有効 　◎エッチング前処理…親水化、均一性向上 　◎レジスト除去前処理…レジスト最表面硬化層改質除去 　◎剥離後洗浄…微量レジスト残差の除去 　◎接着前処理…有機物除去で接着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング