速乾で仕上りキレイな洗浄剤『アサヒクリンＡＥ‐３０００シリーズ』

PRモノづくりで重要な洗浄工程でお困りの方に朗報！乾燥時間の短縮、乾燥温度…

オゾン破壊係数0！不燃性で乾燥性のよいフッ素系の溶剤です。 ★次の問題は、AE-3000 / AE-3100Eで解決！ ・乾燥や冷却に時間がかかる ・乾燥シミが残って歩留まりが下がる ・商品が錆びる ・廃液が多い ・可燃物の使用量が多い ・水シミが残って美観が損なわれる ・効率よく水分除去できる乾燥工程がほしい 【特　長】 ・乾燥性：適度な沸点で蒸発潜熱が小さく乾燥性に...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

洗浄後のポンプ内残留菌が殆どゼロ！サニタリーダイアフラムポンプ

PR【FOOMA JAPAN出展】飲料・食品用に！日々の分解/洗浄を簡単に…

中央理化が取り扱う、サニタリーポンプ『ワンナットポンプ』は、食品・飲料・化粧品・医薬品等に適した、エアー駆動式ダイアフラムポンプです。 日々の分解・洗浄・組み付けの時間を短縮します！ CIP洗浄可能で、高温スチーム対応！0.7MPaまでの耐圧！ 各パーツは死角が無く、洗い残しや汚れを見逃すことなく洗浄可能。 洗浄後の残留菌がゼロになった！とお声をいただいており、 金属同士が摺動するパーツが無...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央理化 本社

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

■国内マスク製造メーカー業界ではシェアー90%を誇ります。 ■「研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

《新型》スピンスクラブ自動洗浄装置　（CMP後・研磨後洗浄）

量産現場向け　高信頼性自動スクラブ洗浄装置

■「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」としての量産現場に最適 ■マスクのコンタクト露光時に付着した「レジスト除去」にも対応可能 ■2-チャンバー構成で1.8分/枚にも対応実績有り ■「反転機能」...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

UDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 　◎スループットUpは、UDSチャンバーのマルチ化で対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、基板洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、低価格、洗浄装置、自動洗浄機、レジスト、バッチ式洗浄装置、シリコン、エッチング装置、RCA洗浄、絶縁膜、成膜、セラミック、ローダーアンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

スピン＆コンベア処理装置　（エッチング・洗浄・剥離）

高品質基板を高スループット 且つ 低コストで提供可能！

■エッチングや洗浄プロセスに最適です。 ■薬液処理はスピン方式で、リンス乾燥はコンベアー方式 ■W-レーンで更なる高スループット対応した実績有り。 ■エッチング時の危険な腐食性ガス対策 　◎スピンチャンバー部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介！

量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フ…

《１》【W-スピンスクラブ自動処理装置】 　◆量産向けの最新型「自動スクラブ洗浄装置」です。 　◆ハイスループット 且つ高信頼性にフォーカスした機種です。 　◆「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」等に好適！ 　◆「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

Vertical & Spin枚葉リフトオフ装置

有機剥離にもご使用可能！サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減…

トオフ処理時に発生する多量の剥離メタルゴミの 再付着汚染等の各種問題点に対応したリフトオフ専用の枚葉処理装置です。 剥離Dip槽ではダウンフロー/QDR/噴流/シャワー/側面US/揺動、 洗浄乾燥Spin枚葉チャンバーでは特殊ノズル/MSリンス/HP-Jet等の 組合わせで高効率で均一な短時間リフトオフや再付着汚れのない、 高清浄度な基板表面が得られます。 【特長】 ■有機剥...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置

RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセ…

アルSpin枚葉処理装置です。 フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》 丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。 「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」 と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。 【特長】 ■洗浄やエッチング等多種の薬液処理プロセスを一つの 　トータルシステムに纏める事が可能 ■大幅な装置購...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

大型基板用全自動フォトリソ処理装置

フォトリソプロセス一貫処理が可能

■G8.5世代の超大型重量基板に対応します。 　◎対応基板サイズ：1.3m X 1.5m X15mm t ■フォトリソ一プロセスの一貫処理に対応。 　◎処理工程：LD⇒現像⇒エッチング⇒剥離⇒洗浄⇒ULD ■国内の複数メーカーに複数台の実績がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

セミオートレジストコーター

レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配り…

気流制御、メンテ性にも気配りをしており、 レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、スピン洗浄装置、スピンコーター、半導体製造装置、レジスト塗布装置、塗布装置、塗布ムラ、低価格、フォトリソ工程、枚葉基板洗浄機、枚葉スピン洗浄機、表明処理、ウエハ洗浄装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

《新型》UDSスピン枚葉装置（レジスト剥離/リフトオフ系）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■超音波を使わない有機剥離/リフトオフ処理に好適 　◎高圧Jetやスプレー処理に対応 　◎リフトオフ時のDry-Etch残差やバリ除去に有効な超音波使用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 　◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。 　◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。 　◎ミキシング、周速制御等スピン系の各種要素技術の全ては、 　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

小型マルチスピンプロセッサー　エッチング・洗浄・現像

スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴…

現像、エッチング、リンス、乾燥と一連のパターニング処理を 従来型のSpinにて行う装置のご紹介です。 基板品種により現像､エッチングの処理時スプレー又はパドルの レシピ選択ができ、スキャン時には周速制御による均一性向上も可能。 本機は低コストで、従来より多数の御使用を戴き実績も豊富ですが、 循環再利用のプロセスには2チャンバーでの対応が必要となります。 廃液・排水、排気のき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

エキシマUV表面処理装置

ウェット処理との組合わせ自動処理でプロセスの高品質化

■エッチング前処理、レジスト除去前処理、剥離後洗浄、接着前処理等に有効 　◎エッチング前処理…親水化、均一性向上 　◎レジスト除去前処理…レジスト最表面硬化層改質除去 　◎剥離後洗浄…微量レジスト残差の除去 　◎接着前処理…有機物除去で接着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

《新型》SpinDipプロセッサー　リフトオフ・有機剥離・バリ取

ウルトラソニック超音波をスピン枚葉装置に搭載実用化！

波ムラ…原理上あり得ません（直接波だけでの超音波処理） 　◎超音波振動面内のムラ…素子直上部（強）と素子間部（弱）の強/弱ムラは、 ＜基板回転＞と超音波の＜スキャン最適化＞で解消 ■バリ除去や研磨後洗浄にも応用展開実施済み ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

卓上スピン洗浄装置

上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。

■「試作開発」「手洗い洗浄の代替」「省力化」「品質向上」等に最適です。 ■手洗い洗浄とは異なり、ばらつきの無いハイレベルな表面品質が得られます。 ■基盤品質Upと洗浄作業費削減の両立を達成 　◎例えば、4台の卓上洗浄機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

セミオートSPINDipスピン枚葉装置　リフトオフ・レジスト剥離

《新型》社内デモ機でさまざまなサイズや基板種、デバイスパターン状態に対…

そして得られた各種知見・ノウハウを盛り込み、好適な形に カスタマイズされた実装置化を行います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、枚葉基板洗浄機、枚葉スピン洗浄機、表面処理、薄ウエハ、絶縁膜、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■1-チャンバーで「薬液⇒リンス⇒乾燥」のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 　◎従来方式：2-チャンバー構成（チャンバー間移送時に基板は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング