高速シーリング 着脱ツール『FasTestクイックカプラ』

PRリークテストおよび流体移送プロセス用の繰り返し着脱できるコネクションツ…

リークテストおよび流体移送プロセス用の繰り返し着脱できるコネクションツール。工具やシール材を使用せずに高速配管を繰り返すことが可能です。 リークテストなど、繰り返し配管が必要なシーンにおいて、安全性の向上や、作業者への負荷軽減、作業時間の大幅な短縮が見込めます。 【総合カタログ 掲載内容】 ■セレクションガイド ■内部グリップ型 着脱ツール ■外部グリップ型 着脱ツール ■特定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大手技研

高耐熱ホース『エアロクイップ(AQP)シリーズ』

PR最高使用温度＋150℃！多種類の液体・気体に1本で対応する高耐久ハイス…

イートン社製ホース『エアロクイップ(AQP)シリーズ』は、耐熱性・耐化学薬品性・耐久性に優れ、1本で石油系作動油をはじめ、ガソリン・水・エアーなど多種類の液体・気体に対応可能。 100万回以上のインパルス試験に合格し、内部流体・外部雰囲気温度共に最高使用温度は150℃で、昇温化傾向にある油圧機器や、周辺温度が高い箇所の配管などに適しています。 AQPホースは酸化やオゾンの影響ならびに空中お...

メーカー・取り扱い企業： ドゥ・ヤマモト株式会社 本社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:330mm、440mm、500mm、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル