Ex2015対応　耐圧防爆形コントロールモータ dMCシリーズ

PR従来品と同等の寿命・性能を保ちながら、コンパクトで低価格を実現したコン…

『耐圧防爆形コントロールモータ dMCシリーズ』は、従来品と同等の寿命・性能を保ちながら、コンパクトで低価格を実現したコントロールモータです。 特注にて特殊なタイミングや塗装、ポテンショメータなど対応可能で、防爆地域のダンパー、バルブの操作機用途に適しています。 【特長】 ■小型で高耐久、低価格を実現 ■EU RoHS 指令(10 物質)に完全対応 ■●防爆地域のダンパー、バルブの操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東邦製作所

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』

下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボ…

ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セラミックチャック付属（オプション） ■位置決めセンサ付属（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1000シリーズ』

180度反転可能！全軸2Pステッピングモータ仕様のクリーンロボットをご…

ーズ』は、ハンドがステッピングモータ駆動によって 180度反転可能なリンク式シングルアームクリーンロボットです。 全軸2Pステッピングモータ仕様。 アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャックです。 また、回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■ハンドがステッピングモータ駆動によって180度反転可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』

ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボ…

ています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、 　180度位置センサを装備 ■チャック：アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社