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大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4~8インチ…
【仕様】 ○適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd 〇スパッタ方式:DC/平行平板型 〇排気操作:手動式 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H):282/450/440mm ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…
9mm 〇適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc. 〇試料サイズ:φ70mm(Max) 〇排気操作:手動式 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H):360/422/265mm...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチック…
【仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:自動 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H):225/420/320mm...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター
【仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:自動 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H):225/420/320 ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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不活性ガス雰囲気中で基板・ターゲットの交換ができる、研究開発用小型スパ…
膜することができます。また、前面ハッチと基板チャッキング機構により、容易に基板交換できる構造としています。 スパッタチャンバー前面ハッチ部に真空置換可能なパスボックス付き簡易グローブボックスを直結しています。大気に曝さずに、基板交換、ターゲット交換が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社菅製作所
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