超高真空や極低温域でも使用可能な金属ガスケット【サンプル可！】

PRガスケットの使用制限を受ける環境で使用可能！復元特性により金属製なのに…

『U-TIGHTSEAL(U-タイトシール)』は弾性コア(コイルスプリング)を内蔵する、 金属ガスケット(メタルガスケット)です。 金属製でありながら、その優れた圧縮・復元特性により、エラストマー(ゴム類)の様な性質を発揮します。 形状は円形断面のリング状をなし、構造は中心部に密接に巻いた弾性コアがあり、 これを覆う一層又は二層の被覆から構成されています。 【特徴】 ■外側の被覆は、なじみの良...

メーカー・取り扱い企業： 臼井国際産業株式会社

脱泡！含浸にも！ステンレス製真空保管容器『キミツ』

PR抜群の強度を誇る真空保管用ステンレス缶。固体でも液体でも粉体でも、多目…

『キミツ』は、すぐれた耐高真空性能をもつステンレス缶です。金属類、医薬品、化粧品など、酸化を防ぎたいものの保管に使われています。インクや薬品等の「脱泡」や「含浸」の促進にも使用できます。 特殊なリブ構造により耐真空性能を板厚1.5mmで実現。 蓋にはカプラプラグが2個ついており、真空ポンプと配管することで簡単に真空引きができます。また、別売品のバリアカットや三方バルブを取り付けることで簡単に常圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スギヤマゲン

高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能...機能 くさび型のプレート&受け（特許取得のウェッジシーリング）により、圧力差があっても開け閉め可能です。O-リングがデポ物を掻き取るため、リーク量を低減いたします。 頑丈 1. 真空に触れる大部分はステンレススチールです 2. 真空中...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要...サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します！ ...特長 1. 開および閉位置での機械的なロックです 2. パーティクル発生...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト...カスタムソリューション アクチュエータ -緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 -2重リミットスイッチ（開、閉それぞれ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ...リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 DN 10-50: 1 × 10-8 mbar～ 5 bar (abs) DN 63-80: ～4 bar (abs) DN 100-160: ～2 bar (abs) ゲートにか...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

コンボコントロールバルブ　SERIES 95.1/95.2

優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ

Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Seri...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能...リーク量（バルブボディ、バルブシート）: < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライバルブ　SERIES 21.0

コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

-頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能...サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

Lゲートバルブ　SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…

-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト...サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル...サイズ: DN63-250mm アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: 15.0/15.1 アルミニウム、15.2 ステンレススチール 軸シール: 15.0 O-リング軸シール、15.1/15.2 ベローズ軸シール 標準フ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易　...サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-L...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社