【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

【初展示製品多数】医薬品・化粧品の開発に関わるご担当者様必見！

PRインターフェックスWeek東京に出展します。ニッチだけど新しい、費用対…

ジャパンマシナリーは、「インターフェックスWeek東京」に出展いたします。 一つのカテゴリーに収まりきらない製品群を持つ当社のブースでは、 商品開発、プロセス開発、生産技術、製造、保全までのすべての ご担当者様必見です。 わずか1μL/秒の極小領域対応のシングルユース対応シングルユースマイクロ ドージングポンプ「QB2-SD」や、ゲームチェンジャーとなる世界最小クラスの 顕微ラマン分光センサー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

真空ピンセット　導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズ

ウエハ－プロセスの作業効率の向上を実現する真空ピンセットです。

真空ピンセット　導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズは、ピンセット弁内部を鏡面仕上げ加工にすることで、優れた機密性、耐久性を発揮します。 また、ボタン開閉時の発塵を最低限に抑えました。 精密加工された独自のバルブ構造が、ウエハーの吸着、瞬間離脱の繰り返し作業を長期間にわたり安定した性能を約束します。 金属部分の露出を最小限に抑えていますので、安全なハンドリングができます。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

ロボットハンド　2FGP20

パレタイジングとシートパレット用の多様性のある電動グリッパー

幅の広いストロークとカスタマイズ可能なアームを持った多様性の高いパレタイジンググリッパーは、真空パッドでは掴めない重たい箱、開放箱、棚置き準備のできた製品や他の容器を扱います。 統合された真空グリッパーは、グリッパーの交換無しで、あるいは他の取り扱い方法を必要とせずに、シートパレットを扱います。 棚からの取り出し用のグリッパーは、設計の手間を大きく省き、配置時間を短縮してくれます。 電動グリ...

メーカー・取り扱い企業： OnRobot Japan　株式会社

【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…

すい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

ロボットハンド【On Robot　VG10バキュームグリッパー】

個別グリップ機能により稼働時間を短縮！適応性が高く、調整可能なバキュー…

VG10 は、ロボットアームに接続し、グリッパーを製品に合わせて 設定するだけですぐに設置可能なバキュームグリッパーです。 生産性と投資収益率が短期間で向上し、個別グリップ機能により、 稼働時間を短縮。 また、外部からの吸気が不要の為、導入が早く、メンテナンス費用を 軽減します。 【特長】 ■適応性が高く、調整可能 ■生産性と投資収益率が短期間で向上 ■外部からの吸気...

メーカー・取り扱い企業： OnRobot Japan　株式会社

HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。 ...・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ウエハリング供給対応高速ハンドラー装置『BITA-2KWD』

極薄部品、微細部品に配慮した吸着・収納！単純なシート剥離の為、部品にダ…

『BITA-2KWD』は、ウエハリング供給の部品をダメージレスで吸着・移載する 高速のハンドラー装置です。 UV硬化と加温によりシート粘着力を低下させたうえで剣山形状の針の先端で 部品を支持しながらシートをエクスパンド、さらに下方へ真空吸引することで シート粘着力を極小化。 シリコンチップなど、ダイシングシート貼付状態で供給される部品を KNE製ロータリーヘッドによる高速ピック...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社