ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【総合カタログ】110年分の歴史・技術が詰まった高機能性薬品

電機・電子デバイス製造に欠かせない各種機能性薬品。創業110年の経験と…

林純薬工業は創業から110年の歴史を誇る、高機能性薬品を提供する機能性工業用薬品メーカーです。このたび、その経験と技術を凝縮した機能性薬品の総合カタログを発行することとなりました。 各金属膜エッチング液、現像液/剥離液、テクスチャーエッチング液、粗面化エッチング液など、電気・電子デバイス製造プロセスに欠かせない、各種高機能性薬液を掲載しております。 この高機能性薬品総合カタログを...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

レジスト剥離液（水系）「PureClean MCseries」

レジストを良好に剥離します。含水系剥離液は消防法の危険物に該当しません…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 金属膜や絶縁膜を腐食することなく、レジストを良好に剥離します。 ・ 低温、短時間での処理が可能です。 ・ NMPを使用していません。 キーワード：レジスト、非危険物...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

受託サービス＜画像観察/薬液処理＞　※半導体基板や液晶基板など

高精細なSEM写真を提供可能！半導体基板、液晶基板、電子デバイス基板な…

【受託サービス事例】 ■パターンウェハの断面SEM観察 ■エッチング処理した基板のSEM観察 ■粗面化エッチング処理＋顕微鏡観察 ■エッチング後の残膜確認 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

カラーフィルターリワーク剥離液、ポリイミド剥離液

BM、RGB、OC、PS形成後のリワーク剥離、またはポリイミド剥離に最…

は以下のとおりです。 ・ 中間リンスが不要です。 ・ 低泡性で、スプレー処理やブラシ洗浄の併用が可能です。 ・ 引火点がなく、消防法非該当品です。 ・ カラーフィルターリワーク時のITO膜のエッチング液としてClean Etch ITO seriesの使用を推奨します。 キーワード：リワーク、カラーフィルター、カラーレジスト、ポリイミド...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

GaP粗面化エッチング液

GaP膜の表面およびGaP基板の表面、斜面、側面を良好に粗面化エッチン…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。 ・ 低温、短時間での処理が可能です。 ・ 凹凸形状の面内均一性が良好です。 キーワード：フロスト処理、凹凸、LED、発光ダイオード、リン化ガリウム、ガリウムリン...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Alダメージレス絶縁膜エッチング液

Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 …

に使用可能です。 ・Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。 キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Ag・Ag合金・Ag系積層膜エッチング液

Ag単膜、APC（Ag-Pd-Cu合金）などのAg合金膜単膜、またはA…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ エッチングレートが安定しています。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、銀、APC...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品

Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

PZTエッチング液「Pure Etch PT series」

PZT（lead zirconate titanate,チタン酸ジルコ…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・少ないサイドエッチ量で、残渣無くエッチングします。 ・さまざまな成膜方法のPZT膜に対応しています。（ゾルゲル法、スパッタ法、その他成膜法） ・Dip、Sprayなどのさまざまな処理方法でエッチング可能です。 ・バルク品のエッチングにも対応しています。 ・毒物...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

AlダメージレスSiエッチング液（異方性）

Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします…

能です。 ・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。 ・ エッチング液の劣化が少ないです。 ・ 前処理液として、Pure Etch ZE series（ Alダメージレス絶縁膜エッチング液）の使用を推奨します。 キーワード：ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

AlGaAs・GaAs粗面化エッチング液

AlGaAs膜、GaAs膜、GaAs基板の表面を良好に粗面化エッチング…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。 ・ 低温、短時間での処理が可能です。 ・ 凹凸形状の面内均一性が良好です。 キーワード：フロスト処理、凹凸、LED、発光ダイオード、アルミニウムガリウムヒ素、ガリウムヒ素...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Tiエッチング液標準品、Tiシード層エッチング液

Ti膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とTiシード…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 ・ Cu/TiやW/Tiなどの積層膜に適しています。 キーワード：ウェットエッチング、チタン...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

TiWエッチング液「Pure Etch TE series」

TiW膜を良好にエッチングします。成膜方法や膜構造によりエッチング性能…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・良好な順テーパーを形成します。 ・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 ・エッチング後の残渣がありません。 キーワード：ウェットエッチング、チタンタングステン... ...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

レジスト剥離液（アミン/溶剤系、溶剤系）

レジストを良好に剥離します。アミンと溶剤を混合した系統の剥離液および、…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 金属膜や絶縁膜を腐食することなく、レジストを良好に剥離します。 ・ 低温から高温での処理が可能です。 キーワード：レジスト、非水系...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Alテーパーコントロールエッチング液

AlまたはAl合金膜を所望のテーパー角でエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 所望のテーパー形状（テーパー角）を形成します。 ・ Al、Al合金膜を良好にエッチングします。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、アルミニウム...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Cuエッチング液「Pure Etch C series」

Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用と…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、銅...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

AlGaInP粗面化エッチング液

AlGaInP膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。 ・ 低温、短時間での処理が可能です。 ・ 凹凸形状の面内均一性が良好です。 キーワード：フロスト処理、凹凸、LED、発光ダイオード、アルミニウムインジウムガリウムリン...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Auエッチング液「Pure Etch AU series」

Au膜を良好にエッチングします。Auめっきへのダメージ少なく、Auシー…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・低温、短時間での処理が可能です。 ・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 ・微細なバンプ形成やパターン形成プロセスに適しています。 キーワード：ウェットエッチング、金、めっき、シード層、選択エッチング液 ...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

ITOエッチング液「Clean Etch ITO series」

ITO膜を良好にエッチングします。a-ITOエッチング用とp-ITOエ…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ エッチング後の残渣がありません。 ・ 低発泡性であり、破泡性に優れています。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、酸化インジウムスズ...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

水晶エッチング液「Pure Etch ZE series」

レジストや金属膜（Au、Crなど）によるマスクを腐食することなく、水晶…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・断面形状のテーパー角の角度差を従来品より低減可能です。 ・エッチング底面を従来品より平坦にエッチング可能です。 ・厚みの均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、水晶... ...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Niエッチング液「Pure Etch NE series」

Ni膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、ニッケル Niの表面形状を凹凸状に加工する粗面化エッチング液は「Ni粗面化エッチング液」ページをご参照ください。...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Wエッチング液「Pure Etch W series」

W膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 ・ エッチング後の残渣がありません。 キーワード：ウェットエッチング、タングステン...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Crエッチング液「Pure Etch CR series」

Cr膜を良好にエッチングします。微細パターン形成を検討される場合には、…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 ・ BM（ブラックマトリクス）やフォトマスクのCrエッチングに適しています。 キーワード：ウェットエッチング、クロム...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Siエッチング液（等方性）

Si膜を良好に等方性エッチングします。等方性エッチング液標準品のほか、…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・低温、短時間での処理が可能です。 ・エッチング後の表面は鏡面です。 キーワード：ウェットエッチング、シリコン等方性エッチング、シリコン基板薄化... ...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

GaN（N面）粗面化エッチング液

GaN（N面）膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。 ・ 室温～高温での処理が可能です。 ・ 凹凸形状の面内均一性が良好です。 キーワード：フロスト処理、凹凸、LED、発光ダイオード、窒化ガリウム...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

Agナノワイヤーエッチング液

Agナノワイヤー膜を良好にエッチングします。フルエッチング用とパーシャ…

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 低温、短時間での処理が可能です。 ・ 組成や処理条件を調整することにより、フルエッチングすることも可能です。 キーワード：ウェットエッチング、銀ナノワイヤー、AgNW、SNW...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部